現(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)ppt課件(參考版)
2025-01-18 02:59本頁面
【正文】 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 使用增透膜的幾個注意事項 ?使用的波長范圍，單點還是寬光譜或一段光譜帶一點；例如可見區(qū) (420nm700nm)，或紅外（ 3700nm4800nm)，或可見區(qū)加 1064nm等； ?剩余反射率指標；（平均或最大剩余反射率） ?使用角度或角度范圍； ?使用環(huán)境；（有無三防要求等） ?有無激光閾值要求； ?其它功能性要求 。一般說在紅外區(qū)百分之幾的損失是允許的，因而低折射率基片通常很少鍍減反膜。半導(dǎo)體有很高的折射率，例如硅約為 4。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 012345400 450 500 550 600 650 700K9 基底上各種設(shè)計的增透膜理論曲線比較% ReflectanceW a v el e ng t h ( n m )01234540 0 50 0 60 0 70 0 80 0 90 0 10 00 11 00 12 00 13 00 14 00 15 00An t i r e f l e c t i o n c o a t i n g a t 5 3 2 n m amp。對于 λ0／ 4 λ0／ 4 型的增透膜在中心波長處增透效果好但是帶寬較小， λ0／ 4 λ0／ 2型的增透膜在一定程度上展寬了帶寬但是總體的減反射效果不理想，人們想到將它們結(jié)合起來，設(shè)計出 λ0/4λ0/2λ0/4型增透膜，不僅提高了增透效果，而且展寬了帶寬。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 012345400 450 500 550 600 650 700單層膜、 λ /4 λ /4 和 λ /2 λ /2 型雙層增透膜理論曲線% ReflectanceW a v e l e n g t h (n m )薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 三層增透膜 雙層增透膜的減反射性能比單層增透膜要優(yōu)越得，但它并沒有全部克服單層增透膜的兩個主要缺點（ 1）剩余反射高；（ 2）帶寬小。解 (b)的膜層總厚度比解 (a)的小，它對波長的敏感性也較小，所以通常取此解。因此只須以矢量 r1的始點和終點為圓心，分別以 r3和 r2為半徑作兩個圓，兩個圓的交點就是滿足合矢量為零條件的矢量 r2和 r3頭尾相接的點，然后從矢量圖上即可量得 2δ 2δ2的值。顯然，當 n2n3時，有 Y＞ n3．也就是說，在玻璃基片上先鍍一層高折射率的 λ0／ 4波長厚的膜層后，基片的折射率好象從 n3提高到 Y=N23/n3 ，然后鍍上 λ0／ 4波長厚的氟化鎂膜層就能起到更好的增透效果。 有兩個途徑可以提高增透效果： ?采用變折射率的所謂非均勻膜，它的折射率隨著厚度的增加呈連續(xù)的變化； ?采用幾層折射率不同的均勻薄膜構(gòu)成多層增透膜； 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 對于單層氟化鎂膜來說冕牌玻璃的折射率是太低了。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 2012121101021 nnnnnnnnnnnrr ??????? 則即矢量法用來分析單層薄膜情況： 可見當厚度為某一波長 1/4，并且 r1=r2時剩余反射為零： 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 2221022102002211112111111221c o ss i ns i nc o s???????????????????????????????????????????????????nnnnnnYnYnRnnBCYdniiBC???????????其中：運用矩陣法分析 1/4波長厚度時的情況： 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜
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