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產(chǎn)100噸φ150mm~φ200mm硅單晶系列產(chǎn)品項目項目建議書-資料下載頁

2025-01-17 22:47本頁面
  

【正文】 發(fā)展的拉動,2004年硅單晶年產(chǎn)量1700余噸,2005年產(chǎn)量增長47%,總產(chǎn)量達到約2700噸,總銷售額約50億元,其中太陽能電池硅單晶產(chǎn)量近2000噸。2005年,;。隨著集成電路產(chǎn)業(yè)和太陽能電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,2005年,國內(nèi)集成電路和硅太陽能電池對單晶硅的實際需求量也達到了4500噸左右,所以市場前景十分巨大。目前,中國單晶硅產(chǎn)品的總體水平仍然較低,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)以4英寸、5英寸、6英寸硅單晶片為主流。鑒于硅材料在整個半導體工業(yè)中的地位,世界各發(fā)達國家和一些發(fā)展中國家都非常重視硅材料的發(fā)展生產(chǎn)和研究,像美國、日本每年增長幅度都在15%以上,我國自第九個五年計劃以來每年增長速度超過30%以上。盡管是這樣,我國的生產(chǎn)總量占世界總產(chǎn)量還不到1%, 也只有臺灣省產(chǎn)量的20%,三、 項目工藝流程和主要工藝說明(一)主要工藝流程工藝流程:清洗爐膛—裝料—抽真空—保護氣—升溫化料—溫度穩(wěn)定—烤晶籽—種晶—引晶—縮頸—放肩—等徑—收尾—去頭尾—滾圓或切方—切片—清洗—包裝(二)主要工藝說明熔融的單質(zhì)硅在凝固時硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。直拉法生長的單晶硅主要用于半導體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。本項目采用直拉法生產(chǎn)硅單晶,從熔融硅中控制硅單晶,合格硅晶經(jīng)外園滾磨、切片、倒角、研磨,加工成可供分立器件直接使用的硅單晶研磨片和可繼續(xù)加工成硅單晶的拋光片、外延片,然后清洗測試,包裝出廠。(三) 設備選用本項目購置Φ150mm~200mm硅單晶生長設備及切、磨硅片等加工設備,進口部分關(guān)鍵設備(切割、倒角設備),新增主要生產(chǎn)設備105臺(套),其中:單晶爐16臺、單晶棒帶鋸機4臺、單晶棒滾磨車床6臺、多線切割機2臺(瑞士進口)、多晶清洗系統(tǒng)1套、高溫擴散爐4臺等,新增設備名稱及型號詳見新增設備清單。四、投資估算及資金籌措1 、項目固定資產(chǎn)總投資本項目固定資產(chǎn)總投資為6000萬元, 2 、投資使用計劃。經(jīng)濟分析項目完成后,可實現(xiàn)新增年產(chǎn)100噸硅單晶系列產(chǎn)品的生產(chǎn)能力??蓪崿F(xiàn)銷售收入15500萬元,增值稅976萬元,銷售稅金及附加107萬元,利潤總額1802萬元。投資利潤率、投資利稅率、%、%、%(全部投資所得稅后),均優(yōu)于行業(yè)平均先進水平,因此本項目在經(jīng)濟上可行的。9
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