拉晶工藝及操作規(guī)程(1)-資料下載頁(yè)
2025-01-10 11:07本頁(yè)面
【正文】 B段的方法： 拉 B段的方法與第一段開(kāi)始一樣，根據(jù)上段引晶歐陸功率值，確定好引晶堝位和歐陸功率值。與第一段相比注意以下幾點(diǎn)： ? a)引晶、放大、轉(zhuǎn)肩過(guò)程基本一致，轉(zhuǎn)肩后等徑起始拉速應(yīng)根據(jù)第一段拉速設(shè)定。 ? b) 開(kāi)始投自動(dòng)等徑前，要設(shè)定起始長(zhǎng)度為前面取出晶體長(zhǎng)度總和。 ? c)檢查各種數(shù)據(jù)參數(shù)，如有疑問(wèn)時(shí)可請(qǐng)教相關(guān)技術(shù)人員， 并做好記錄。 C) 回熔步驟： ? a) 確認(rèn)晶體長(zhǎng)度，降低堝位到適當(dāng)高度。 ? b) 將歐陸退出自動(dòng)，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為 5 r/min，堝轉(zhuǎn)設(shè)定為 2 r/min。 c) 功率調(diào)整到化料功率的 90%左右。 ? d) 觀察爐內(nèi)狀態(tài)，慢慢下降晶體進(jìn)行回熔。如果過(guò)快降下晶體，有可能觸到石英堝底，造成漏硅事故。 ? e) 回熔完成后進(jìn)行常規(guī)作業(yè)， 并做好相關(guān)記錄。 ? 當(dāng)堝底余料少于投料量的 10％時(shí)（可根據(jù)晶體長(zhǎng)度判斷，即： 55kg投料時(shí)，按直徑 154mm計(jì)算，晶體長(zhǎng)度 1150mm，其他投料重復(fù)類推，按直徑154mm計(jì)算，每公斤長(zhǎng)度 23mm，或者根據(jù)堝位判斷），可開(kāi)始收尾。對(duì)于手動(dòng)收尾，收尾前將自動(dòng)等徑退出，堝升停止，但控溫部分的溫校速率可以保留；對(duì)于自動(dòng)收尾，到達(dá)設(shè)定長(zhǎng)度后自動(dòng)進(jìn)入收尾程序，需關(guān)閉堝跟，并在速度系統(tǒng)中將堝升速度清零、關(guān)閉堝升電源，計(jì)算機(jī)將按設(shè)定的收尾曲線自動(dòng)收尾。收尾過(guò)程的開(kāi)始階段不能過(guò)大提高拉速或者大幅提高溫度。 ? 收尾過(guò)程中應(yīng)時(shí)刻注意爐內(nèi)情況，適當(dāng)調(diào)整拉速或者溫校參數(shù)。 ? 當(dāng)堝內(nèi)出現(xiàn)結(jié)晶或收完尾后，若處于自動(dòng)狀態(tài)需退出自動(dòng)，降低堝位約 50mm左右 ,使晶體脫離液面。分步降低加熱功率到零，關(guān)閉加熱電源，停堝轉(zhuǎn)，慢慢降晶轉(zhuǎn)到零。 ? 將計(jì)算機(jī)內(nèi)以下參數(shù)復(fù)位： a)晶升速度歸零。 b)控溫單元退出自動(dòng)。 c) 分次降加熱功率至 0。 ? 停爐冷卻時(shí)間為 4至 5小時(shí)，冷卻期間不停泵和氬氣，以加快冷卻，或者停爐后兩小時(shí)停氬氣和泵，自然冷卻 6小時(shí)后拆爐。停爐后一定要保證供水正常。在拆爐前半小時(shí)要抽空到極限，進(jìn)行檢漏，將真空度及檢漏數(shù)據(jù)記錄下來(lái)。 ? 如果應(yīng)該換泵油或清洗機(jī)械泵、清洗真空管道等，則停加熱 2小時(shí)后，停氣、抽空、檢漏，記錄真空度及檢漏數(shù)據(jù)。然后開(kāi)始換油或清洗。在換油、清洗過(guò)程中，要注意與換油人員的配合，嚴(yán)防誤開(kāi)泵造成人身傷害。 ? 舊系統(tǒng)煅燒頻率 每?jī)蓚€(gè)大清周期 (每隔 12爐 )進(jìn)行一次煅燒，在爐子間隔 4天以上沒(méi)有使用并且真空度已經(jīng)不好的時(shí)候進(jìn)行一次煅燒 .煅燒時(shí)間 :4~8h。 ? 煅燒要求 在爐子真空達(dá)到要求后 ,舊系統(tǒng)、爐子 6Pa一下 (新系統(tǒng)、爐子 12Pa以下 )充氬氣，爐壓控制在1300Pa~1600Pa，堝位放在平口位置，晶轉(zhuǎn)給5rpm,堝轉(zhuǎn)給 1~2rpm,開(kāi)始升溫。過(guò)程要求嚴(yán)格控制慢升溫，具體煅燒程序如下 : 第一次煅燒 分兩次 (間隔 2分鐘以上 )加功率到 30KW左右 ,恒溫半小時(shí)(新系統(tǒng) 1小時(shí) ),檢查是否有火花以及漏電；如果電流表和電壓表同時(shí)搬動(dòng)就要降低氬氣流量直到現(xiàn)象消除； 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 45KW左右 , 恒溫半小時(shí) (新系統(tǒng) 1小時(shí) )。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 60KW左右 , 恒溫半小時(shí) (新系統(tǒng) 1小時(shí) )。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 75KW左右 ,恒溫 1小時(shí) 。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 85KW左右 ,恒溫 2小時(shí)。 關(guān)氬氣 ,抽真空 ,觀察真空情況 ,繼續(xù)高溫煅燒到真空13Pa(新系統(tǒng) 16 Pa)以下，分多次降低功率到零 ,關(guān)閉加熱電源。 注 :加熱過(guò)程中要注意觀察 ,如果電流表和電壓表同時(shí)擺動(dòng) ,就要降低加熱功率和氬氣流量直到現(xiàn)象消失 30分鐘后再重新升溫。 對(duì)于新熱場(chǎng)、爐子根據(jù)上次煅燒情況，進(jìn)行第二次或第三次煅燒。 第二次煅燒 加熱過(guò)程和第一次相同，在最后加功率到 90 KW,恒溫 4小時(shí)。關(guān)氬氣后 ,繼續(xù)煅燒到高溫真空13 Pa以下時(shí)降溫。 第三次及以后煅燒 加熱過(guò)程第一次一樣 ,在最后加功率到 90KW,恒溫 1小時(shí) .關(guān)氬氣后 ,繼續(xù)煅燒到高溫真空 13 Pa以下時(shí)降溫。
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