半導體設(shè)備工藝簡介-資料下載頁
2025-05-13 17:48本頁面
【正文】 單擊此處編輯母版文本樣式 設(shè)備簡介： 廠商：韓國 .,LTD 型號： NanoSurface GH180PV 工作原理： 金剛石砂輪盤與工件托盤相對轉(zhuǎn)動，輔以水溶性冷卻液，使減薄面達到鏡面級。 用途： 可對藍寶石、硅晶片、 GaAs外延片進行背面減薄 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 技術(shù)指標： 4英寸及以下的 wafer。 3片 2英寸大小的 wafer。 工藝特點： ，可任意設(shè)定減薄原點，操作簡單 。 2400rpm，工件托盤主軸最大轉(zhuǎn)速為 500rpm； 金剛石砂輪軸進給距離 90mm。 示例： 藍寶石表面顯微鏡照片（ 50倍） 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 設(shè)備簡介： 廠商：韓國 .,LTD 型號： NanoSurface460L 工作原理： 研磨盤內(nèi)存儲的微米級研磨液顆粒，在工作盤與銅盤相對運動的過程中，將表面打磨光滑 用途： 可對藍寶石、硅晶片、 GaAs外延片進行背面拋光 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 技術(shù)指標： 4英寸及以下的 wafer。 3片 2英寸大小的 wafer。 ： 0350rpm，通常設(shè)置為： 6375rpm。 ： 工藝特點： ，配備了研磨盤表面冷卻裝置 ，吸收和緩沖研磨拋光時產(chǎn)生的震動，提高產(chǎn)品精度 和平面度。 示例： 細拋后藍寶石表面顯微鏡照片（ 50倍） 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 設(shè)備簡介： 廠商： 臺灣致茂電子股份有限公司 型號： Chroma58173 工作原理： 利用恒流源或恒壓源對有電極的管芯進行測試，并利用 CCD等對光新號進行捕捉，得到 IV對應(yīng)關(guān)系，及相應(yīng)的光功率、波長等。 用途： 可對 LED進行測試，得到整個 wafer的光電特性及其平面分布二維圖，測得管芯的抗 ESD性能。 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 技術(shù)指標： LED wafer/chip點測設(shè)備、漏電流測試單元和光學測試模組； LED芯片 IV特性、正向電壓、光功率、反向漏電、反向電壓、峰值波長、主波長、 ESD等基本的 LED光電性能參數(shù)； ，電壓范圍可達 200V； Chroma大面積光探測器 (量測角度可達 128度 ) 工藝特點： Edge Sensor具有 點測針壓穩(wěn)定 ， 沒有針壓變動問題，精度高 機械視覺定位系統(tǒng)，縮短人工操作時間 遮光罩， 避免背景光干擾，信噪比高 量產(chǎn)測試統(tǒng)計報表和分析工具 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 設(shè)備簡介： 廠商：日本 OPTO SYSTEM公司 型號： MODEL WPSR3208 工作原理： 根據(jù)點測機的測試數(shù)據(jù)，機械手臂按照波長范圍、電壓范圍、亮度范圍等將相同指標的管芯抓取到相對應(yīng)的藍膜上，對管芯進行自動分選。 用途： 可對 LED管芯按照光電參數(shù)不同進行自動分類。 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 技術(shù)指標： 32類分選 LED基板 工藝特點： 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 聯(lián)系合作方式 聯(lián)系人：王卓老師 Email: 電 話： 01082305245 地 址：北京市海淀區(qū)清華東路甲 35號，中科院半導體所 3號樓 306室 中國科學院半導體研究所 Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences 單擊此處編輯母版文本樣式 謝 謝！
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