czt的定向切割與研拋-資料下載頁(yè)
2025-05-11 21:19本頁(yè)面
【正文】 片表面光亮無(wú)痕 Company Logo 研磨參數(shù) Title 磨料粒度 磨料種類(lèi) 磨料壓力 主軸轉(zhuǎn)數(shù) 研磨液流量 研磨液濃度 Company Logo 磨料種類(lèi)的影響 選用三種磨料，分別為金剛石、碳化硅和氧化鋁 Company Logo Company Logo 磨料粒度的影響 選擇三種磨粒粒度，分別為 W W Company Logo Company Logo 研磨壓力的影響 在研究研磨壓力時(shí)很多人用 Preston方程進(jìn)行研究。其材料去 除率與研磨時(shí)的壓力 P成正比，與研磨速度 V成正比。 MRR =KPV 其中 MRR為材料去除率， K為 Preston系數(shù)， P為壓力， V為磨盤(pán)與基片的相對(duì)旋轉(zhuǎn)速度。 Company Logo Company Logo 主軸轉(zhuǎn)數(shù)的影響 Company Logo 最終研磨參數(shù)的選擇 在選擇磨料的種類(lèi)時(shí)，要選擇磨粒均勻，且硬度較小的磨粒即選擇氧化鋁加工碲鋅鎘晶體時(shí)效果較好 。磨粒的粒度過(guò)大，雖然有較高的去除率，但對(duì)表面造成的損傷太大，容易造成崩邊問(wèn)題，不利于后序的加工，選擇磨粒在 。當(dāng)研磨壓力在 11Kpa左右時(shí)，即可得到較高的去除率，加工后表面粗糙度也能為后序加工做好準(zhǔn)備。主軸轉(zhuǎn)數(shù)過(guò)高，研磨液在離心力的作用下被甩出，造成研磨液的浪費(fèi)，而當(dāng)主軸轉(zhuǎn)數(shù)低時(shí)，配重塊運(yùn)行不平穩(wěn)，試驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)主軸轉(zhuǎn)數(shù)在 60一 80rpm時(shí)比較合適 。研磨液的濃度和研磨液的流量對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響不大，當(dāng)研磨液的配比為 100g磨粒 :l000ml去離子水時(shí)的濃度時(shí)最佳。 LOGO
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