房間正壓控制計(jì)算的理念(ppt16)-地產(chǎn)綜合-資料下載頁
2025-08-04 14:37本頁面
【導(dǎo)讀】假設(shè)條件：F＝*,v=,m=1,開啟次數(shù)n=1次/hr,啟門的幾何斷面積，m2；m—同時(shí)開啟門的數(shù)量。門的樓層數(shù)或并列的門數(shù)≥2時(shí)F'=×門寬×門高)。開時(shí)A/S內(nèi)壓力為常壓101325pa,保持不變，司的夥伴不與客戶競爭，提供全球晶圓製造服務(wù)品質(zhì)優(yōu)良深得顧客信賴，並鼓勵(lì)員工在各方面的創(chuàng)新，積極研發(fā)新一代製程領(lǐng)先跨入12吋晶圓廠，目前精進(jìn)的製程技術(shù)已足以與世界一流大廠並駕齊驅(qū)。基於以上各點(diǎn)分析得知“潔淨(jìng)室正壓設(shè)定”直接關(guān)係到廠區(qū)轉(zhuǎn)的成本。45Pa，以減少風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)組的耗能。MAU控制電腦主機(jī)逐步調(diào)降馬達(dá)轉(zhuǎn)速。MAU最後的轉(zhuǎn)速，並觀察潔淨(jìng)室壓力變化。FFU轉(zhuǎn)速由1,300rpm降至1,100rpm。共計(jì)可節(jié)省FFU馬達(dá)耗電：140Kw。調(diào)整Fab-4潔淨(jìng)室壓力至35Pa，MAU負(fù)載由45Hz降至41Hz。降低潔淨(jìng)室壓力同時(shí)可減少外氣供應(yīng)量以節(jié)省能源。經(jīng)計(jì)算每1CMH外氣處理耗電量以kW/CMH。
【正文】 300 rpm)。 (original: 65 Pa)。 45 Pa。 FFU最後的轉(zhuǎn)速，並觀察潔淨(jìng)室壓力變化。 二、針對 (MAU)風(fēng)速進(jìn)行改善 改善方式： MAU控制電腦主機(jī)逐步調(diào)降馬達(dá)轉(zhuǎn)速 (original:Fab4為 45Hz)。 (original: 45 Pa)。 35Pa。 MAU最後的轉(zhuǎn)速，並觀察潔淨(jìng)室壓力變化。 三、執(zhí)行成果 ab4 調(diào)降 FFU轉(zhuǎn)速至 1,100 rpm。 MAU轉(zhuǎn)速至潔淨(jìng)室壓力為 35 Pa。 四、節(jié)省效益計(jì)算 ab4調(diào)降 FFU轉(zhuǎn)速 (1)FFU轉(zhuǎn)速由 1,300 rpm降至 1,100 rpm。 (2)共計(jì)可節(jié)省 FFU馬達(dá)耗電： 140 Kw。 MAU轉(zhuǎn)速至潔淨(jìng)室壓力為 35 Pa (1)調(diào)整 Fab4 潔淨(jìng)室壓力至 35Pa， MAU負(fù)載由 45 Hz 降至 41 Hz。 (2)共計(jì)可節(jié)省 MAU馬達(dá)耗電： 71 kW。 (3)降低潔淨(jìng)室壓力同時(shí)可減少外氣 (MA)供應(yīng)量以節(jié)省能源。 (4)共減少 MA： 50,666CMH。 (5)經(jīng)計(jì)算每 1 CMH 外氣處理耗電量以 kW / CMH。 (6)共計(jì)節(jié)省耗電： 284 kW。 ： 4,336,200 kWh /年 五、成本及回收分析 FFU轉(zhuǎn)速調(diào)降 15 %。 ： 50,666 CMH。 6,938,000元。 備注：本課件為本人整理，案例為資料得出，若有思路錯(cuò)誤地 方請各位朋友指正。 謝謝！ 聯(lián)系電話： 0512－ 57339530 Email:
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