cda系統(tǒng)及制程真空系統(tǒng)簡介精講(編輯修改稿)
2024-11-19 05:14 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ),空氣出口溫度 監(jiān)視點,A桶槽建壓 壓力開關(guān) (45psi),B桶槽建壓 壓力開關(guān) (45psi),加熱結(jié)束溫度 控制開關(guān) (80℃),第十六頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),Cycle Time(22hr) ?單一桶槽依續(xù)完成吸附與再生過程之總時間 吸附過程(11hr) ?干燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序 再生過程(11hr) ?泄壓程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之壓力 ?加熱程序(240min max)：加溫移除干燥粒子所含水份 ?冷卻程序(410min max)：冷卻干燥粒以恢復吸附能力 ?建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力,第十七頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),工作流程~吸附過程,,,入口閥(桶槽切換時作動),A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶泄壓閥(OFF),B桶泄壓閥(OFF),吸附桶槽,待機桶槽,建壓閥(OFF),桶槽切換依據(jù) 1.偵濕器作動(7.5~13kHz) 2.時間控制(11hr),B桶槽高溫切換 保護開關(guān)(50℃),A桶槽高溫切換 保護開關(guān)(50℃),第十八頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),再生過程~泄壓程序(8min),,,入口閥,A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶泄壓閥(ON),B桶泄壓閥(OFF),泄壓桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),,,,第十九頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),再生過程~加熱程序(240min max),,,入口閥,A桶排氣閥(ON),B桶排氣閥(OFF),A桶泄壓閥(OFF),B桶泄壓閥(OFF),加熱桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),,,加熱溫度 控制開關(guān) (維持200℃),加熱器溫
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