多晶體織構分析_晶體的極射赤面投影(編輯修改稿)
2025-09-05 22:43 本頁面
【文章內容簡介】 闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學顯微鏡 一、照明系統(tǒng) ? 由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中、傾斜調節(jié)裝置組成。其作用是提供一束高亮度、照明孔徑角小、平行度好、束流穩(wěn)定的照明源。為滿足明暗場成像需求，照明束可在 23186。范圍內傾斜。 接負高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學顯微鏡 （一）電子槍 —電子源 ?常用的是熱陰極三極電子槍，它由發(fā)夾形鎢絲陰極、柵極帽、陽極組成。柵極電壓更低，自偏壓回路可起到穩(wěn)定和限制束流的作用。交叉點處電子束直徑約幾十個微米。 陽極 陰極 偏壓電阻 柵極 UP (a)自偏壓回路 電子槍 (b)電子槍內的等電位面 負高壓 陰極（燈絲） 柵極 等電位面 陽極 電子槍交叉點 （二）聚光鏡 ? 用來匯聚電子槍射出的電子束，以最小的損失照明樣品，調節(jié)照明強度、孔徑角和束斑大小，一般采用雙聚光系統(tǒng)。第一聚光鏡是強激磁透鏡，束斑縮小 1050倍，將電子槍第一交叉點縮小為15微米；第二聚光鏡是弱激磁透鏡，放大倍數(shù)為 2左右，在樣品上獲得 210微米的照明電子束。 電子槍第一交叉點 Φ50μm 第一聚光鏡 M=1/101/50 樣品 第二聚光鏡 M≈2 Φ1μm Φ2μm 照明系統(tǒng)光路 二、成像系統(tǒng) ? 主要是由物鏡、中間鏡、投影鏡組成 物鏡用來形成第一幅高分辨電子顯微圖像或電子衍射花樣。 透鏡分辨本領的高低取決于物鏡。物鏡的任何缺陷都將被其它透鏡進一步放大。降低像差可獲得物鏡的高分辨本領。物鏡是一個強激磁、短焦距透鏡，放大倍數(shù)高 100300倍，高品質的物鏡其分辨本領可達。 接負高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學顯微鏡 （一）物鏡： ? 物鏡的分辨率主要取決于極靴的形狀和加工精度。極靴的內孔和上下極靴間的距離越小，物鏡的分辨率越高。為減小物鏡的球差，通常在物鏡的后焦面放一物鏡光闌。物鏡光闌可減小球差、像散、色差，提高圖像襯度。它位于后焦面上，可進行暗場及衍襯成像。 物鏡與樣品之間的距離總是固定不變的，主要通過改變物鏡的焦距和像距來改變物鏡的放大倍數(shù)。 （二）中間鏡 ? 是一個弱激磁的長焦距變倍透鏡，可在 020倍范圍內調節(jié)。放大倍數(shù)大于 1，進一步放大物鏡像，小于1，縮小物鏡像。 ? 利用中間鏡的可變倍率控制電鏡的總放大倍數(shù)。 接負高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學顯微鏡 ? 若把中間鏡的物平面與物鏡的像平面重合，則在熒光屏上得到一幅放大像，這是成像操作；若把中間鏡的物平面與物鏡的背焦面重合，則在熒光屏上得到一幅電子衍射花樣，這就是電子衍射操作。 L1 L2 (a) (b) L1 L2 成像系統(tǒng)光路 (a)高倍放大； (b)電子衍射 （三）投影鏡 ? 作用是把中間鏡放大或縮小的像進一步放大，并投影到熒光屏上，是一個短焦距強激磁透鏡，激磁電流是固定的，由于電子束的孔徑角很?。?105rad），因此它的景深和焦長非常大，即使總放大倍數(shù)有很大的變化，也不會影響圖像的清晰度。 ? 目前，高性能的透射電鏡大都采用 5級透鏡放大，中間鏡和投影鏡各有兩級。 接負高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學顯微鏡 三、觀察記錄系統(tǒng) ? 包括熒光屏和照相機構，在熒光屏（人眼敏感、發(fā)綠光的熒光物質）下面放置一個可以自動換片的照相暗盒。 ? 電子感光底片采用對電子曝光敏感、顆粒很小的溴化物乳膠底片，是一種紅色盲片。照相只需幾秒鐘。 ? 電鏡工作時，整個電子通道都必須置于真空系統(tǒng)之內。電子槍、鏡筒、照相室之間都裝有氣閥，各部分可單獨抽真空和放氣。 ? 數(shù)碼相機、計算機存儲 TEM主要部件的結構與工作原理 ? 一、樣品平移與傾斜裝置（樣品臺） ? 二、電子束傾斜與平移裝置 ? 三、消像散器 ? 四、光闌 一、樣品平移與傾斜裝置（樣品臺） ? 樣品臺要求嚴格，必須使銅網牢固的夾持在樣品作中并保持良好的熱、電接觸。平移是基本動作，通常在兩個垂直方向上平移的最大距離為177。 1mm. 200方孔或圓孔，孔徑，外徑 3mm 為了對樣品進行三維立體觀察，樣品臺應即能平移，也能傾斜，從不同方位獲得各種形貌和晶體學信息。側插式傾斜裝置。 圓柱分度盤，其水平軸和鏡筒的中心線垂直，樣品傾斜時，傾斜的角度可直接在分度盤上讀出。 樣品桿本身帶有傾斜或旋轉裝置，可使樣品沿 x、 y軸傾轉 177。 60186。，構成側插式雙傾樣品臺和單傾旋轉樣品臺。可測定晶體位相。 二、電子束傾斜與平移裝置 電磁偏轉器 上下線圈偏轉的角度相等但方向相反，電子束平移； 上線圈偏轉
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