【文章內(nèi)容簡介】 工序布局設計 靈活的柔性生產(chǎn)組織方式設計 標準作業(yè)指導書的設計 防錯設計和安全防護設計 42 光刻膠 ＳｉＯ ２ 等 硅片 掩模板(Mask) 曝光用的光 需包括人流物流路線 45 生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)系統(tǒng) GPC 設備稼動管理系統(tǒng) 搬送系統(tǒng) BMW 設備異常處置系統(tǒng) 生產(chǎn)數(shù)據(jù)報表系統(tǒng) SPC預警系統(tǒng) Qwacs 文件管理系統(tǒng)EDMS 倉儲物流系統(tǒng)PMS 安全監(jiān)控系統(tǒng) 涵蓋生產(chǎn)管理各方面的信息化 系統(tǒng) 46 作業(yè)指導票 IO 作業(yè)條件表IOC 操作手冊 IOS 業(yè)務手冊GM 記錄表 HHRS 處置通知 IMD 維護操作指導票 IMS 一般聯(lián)絡文書 IMR 作業(yè)標準 應與工序過程 相匹配對應 47 No. 項目名稱 功能 1 AGV小車感應裝置 ，有異常能及時停止運作，發(fā)出報警。 ， AGV會即刻停止，并發(fā)出報警。 ，AGV也會停止，并發(fā)出報警。 2 超高感度煙檢測器 能在出現(xiàn)微弱煙霧的情況下就及時發(fā)出警報 ,該設施實施 24小時監(jiān)護，防止災害的發(fā)生。 3 緊急沖淋裝置 在現(xiàn)場藥液使用頻率的區(qū)域設有緊急沖淋裝置。遇到藥液飛濺的情況下，能在最短時間內(nèi)進行沖淋，減少傷害。 4 設備緊急停止裝置（ EMO) 當設備發(fā)生異常情況（火災、漏液、碎片等）時，可立刻停止設備的運轉(zhuǎn)，對電、藥液、氣體的閥門進行關閉。 5 液體泄漏檢測器 能在出現(xiàn)微量液體泄漏的情況下就及時發(fā)出警報 ,該設施實施 24小時監(jiān)護，防止災害的發(fā)生。 6 Interlock 光刻機的設備蓋板、門當被被異常打開，設備會自動下電，避免腔體內(nèi)的激光溢出傷害人體，特別是眼睛 防錯是防止人為失誤導致 的錯誤或不符合 b) 針對現(xiàn)場涉及的各項管理活動，對實現(xiàn)各項 現(xiàn)場管理目標所涉及到的管理要素和所需 資源 進行識別 。采用適當?shù)姆椒?，設計出完整的現(xiàn) 場作業(yè)組織結構、管理流程、作業(yè)標準、現(xiàn)場 布局和信息管理系統(tǒng)，保證過程運行的穩(wěn)定、 高效、協(xié)調(diào)一致性和靈活性。 —— 現(xiàn)場布局。根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、設備、 人員等特點，設計合理的現(xiàn)場布局?，F(xiàn)場布局應該 有利于現(xiàn)場物流的順暢，生產(chǎn)組織的靈活，人員作 業(yè)的安全。按照工藝仿真測算的工序及設備節(jié)拍， 生產(chǎn)線平衡情況，合理配置人力、設備等資源，設 計出滿足生產(chǎn)節(jié)拍需求的工藝和人員布局。對于大 批量規(guī)?；a(chǎn)可采用流水線布局；對于多品種小 批量生產(chǎn)可采用柔性生產(chǎn)模式，如 U 型布局，在實 施過程中，應不斷優(yōu)化現(xiàn)場布局，如進行單元內(nèi)部 生產(chǎn)線及整個生產(chǎn)線平衡計算，調(diào)整總體節(jié)拍和效 率?，F(xiàn)場布局應考慮靈活應對市場變化，可采用快 速換型（ SMED）、設備柔性改造等方法。 —— 現(xiàn)場作業(yè)組織結構。根據(jù)產(chǎn)品的需求、 作業(yè)的特點和員工的能力，設計合理的現(xiàn)場作業(yè)組 織結構。如以設備為對象、以零件為對象設置工作 中心?，F(xiàn)場的組織結構需要有利于人員、設備效能 的發(fā)揮，能夠保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，實現(xiàn)現(xiàn)場管 理過程的靈活性。 現(xiàn)場組織結構 —— 現(xiàn)場 管理流程 。針對現(xiàn)場涉及的各項 管理活動，均需要制定清晰明確的流程和制度。 現(xiàn)場管理流程需要明確各項管理活動的目標、 程序、工作方法，并配備需要的資源。例如： 生產(chǎn)計劃、工藝紀律、質(zhì)量控制、工裝夾具、 計量器具等管理流程。 —— 現(xiàn)場 作業(yè)標準 。為現(xiàn)場管理的各項 作業(yè)制定明確的標準，包括生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品圖 紙、作業(yè)方法、設備操作、監(jiān)控規(guī)程、安全環(huán) 保規(guī)程等。 類別 名稱 編號 版本 修改 生產(chǎn)工藝 產(chǎn)品圖紙 作業(yè)方法 設備操作 監(jiān)控規(guī)程 安全環(huán)保規(guī)程 —— 信息管理系統(tǒng)。針對現(xiàn)場信息的來源 和信息使用的需求，設計完善的現(xiàn)場信息管理 系統(tǒng)，實現(xiàn)對現(xiàn)場信息及時準確的采集、傳遞、 統(tǒng)計、分析，為決策提供有效依據(jù)。 信息名稱 采集 傳遞 統(tǒng)計 分析 IMS是一個以人為主導，利用計算機硬件、 軟件、網(wǎng)絡通信設備以及其他辦公設備，進行 信息的收集、傳輸、加工、儲存、更新和維護， 以企業(yè)戰(zhàn)略競優(yōu)，提高效益和效率為目的，支 持企業(yè)高層決策、中層控制、基層運作的集成 化的人機系統(tǒng)。 c) 在現(xiàn)場管理過程的設計中，采用適當?shù)姆? 法，識別并減少流程中的各種浪費，包括但 不限于使用價值流圖等方法。 d) 在現(xiàn)場管理過程的設計中，采用適當?shù)? 方法， 識別 過程存在的潛在 風險 ，并采取 相應的措施實現(xiàn)預防性管理，包括但不限 于使用 防差錯 方法、 失效模式分析 等方法。 過程控制 過程實施 企業(yè)根據(jù)過程設計的結果，從“人、機、料、 法、環(huán)”各方面 配置資源 ，有效實施現(xiàn)場管理過 程。在各項現(xiàn)場管理活動中，通過正確的選擇 和使用管理工具方法，以標準化、精細化、可 視化、柔性化、信息化為路徑，不斷提升現(xiàn)場 的作業(yè)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，保證過程的穩(wěn)定性和 靈活性。 a) 5S 和目視化管理 —— 建立系統(tǒng)的 5S（ 5S：整理、整頓、 清掃、清潔和素養(yǎng)，依照 GB/T19030）活動推 進機制，通過規(guī)范現(xiàn)場、現(xiàn)物、營造干凈、整潔、 舒適、有序的工作環(huán)境，培養(yǎng)員工良好的工作習 慣。 —— 制定系統(tǒng)的現(xiàn)場目視化的 內(nèi)容和標準 ， 確保作業(yè)現(xiàn)場的狀態(tài)和信息能夠及時傳遞。 目視化包括但不限于： 規(guī)章制度與工作標準公開化； 生產(chǎn)任務與完成情況圖表化； 視覺顯示信號標準化； 生產(chǎn)作業(yè)控制手段的形象直觀與使用方便化； 物品的碼放和運送的數(shù)量標準化； 人員分類著裝與掛牌制度； 色彩的標準化管理等， 實現(xiàn)現(xiàn)場中的任何異常能夠及時被發(fā)現(xiàn)并解決。 b) 現(xiàn)場作業(yè)人員管理 —— 現(xiàn)場作業(yè)人員上崗前經(jīng)過系統(tǒng)的 培訓、 實踐、考核 三個階段，合格后方可上崗。 —— 通過輪崗等方式，增強員工的作業(yè)能力， 優(yōu)化現(xiàn)場多能工 的比例，為實現(xiàn)現(xiàn)場作業(yè)的靈 活性奠定基礎。 —— 現(xiàn)場作業(yè)人員 掌握 基本的現(xiàn)場管理 改進方法 ， 包括但不限于質(zhì)量管理新老七種工具等分析方法。 —— 建立完善的班組管理 機制 ，提升班組的執(zhí)行 能力和改善 能力 ，營造和諧的班組 氛圍 。 c) 現(xiàn)場文件管理 —— 制定系統(tǒng)的現(xiàn)場 文件管理流程 ，包括制定、 發(fā)布、培訓、保存和更新。 —— 現(xiàn)場文件包括但不限于生產(chǎn)圖樣、生產(chǎn)組織 文件、工藝標準、作業(yè)指導書等。 63 ，或者發(fā)現(xiàn)改進點 、設備狀況發(fā)