tcad工具仿真流程培訓(xùn)講義(編輯修改稿)
2025-01-29 14:33 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 000 DRYO2 $ LDD implant at a 7degree tilt IMPLANT ARSENIC DOSE=5E13 ENERGY=5 +TILT= ROTATION=30 =ARSENIC 25/65 浙大微電子 2023/1/30 側(cè)墻 源 /漏注入 $ Define the oxide sidewall spacer DEPOSIT OXIDE THICK= ETCH OXIDE THICK= TRAP $ Heavy S/D implant at a 7degree tilt IMPLANT DOSE=1E15 ENERGY=200 + ARSENIC TILT= ROTATION=30 $ Anneal to activate the arsenic DIFFUSION TIME=15 TEMP=950 26/65 浙大微電子 2023/1/30 接觸孔刻蝕 金屬互連 $ Deposit BPSG and cut source/drain contact holes DEPOSIT OXIDE THICKNES= DEPOSIT PHOTORESIST Negative + THICKNESS= EXPOSE MASK=Contact DEVELOP ETCH OXIDE THICKNESS= TRAP + ANGLE=75 ETCH PHOTORESIST ALL 27/65 浙大微電子 2023/1/30 $ Define the metallization DEPOSIT ALUMINUM THICKNESS= DEPOSIT PHOTORESIST POSITIVE + THICKNESS= EXPOSE MASK=Metal DEVELOP ETCH ALUMINUM TRAP + THICKNESS= ANGLE=75 ETCH PHOTORESIST ALL 28/65 浙大微電子 2023/1/30 結(jié)構(gòu)對稱操作 STRUCTURE REFLECT LEFT 29/65 浙大微電子 2023/1/30 電極定義 保存輸出 $electrode define Electrode name=source x= y= Electrode name=drain x= y= Electrode name=gate x=0 y= Electrode name=sub bottom $SAVE For Medici SAVEFILE =NMOS medici 30/65 浙大微電子 2023/1/30 從工藝級仿真向器件級仿真的過渡流程 從工藝級仿真向器件級仿真的過渡，主要涉及了三 類文件（除后綴名外，以下文件名均可自?。? – 版圖層次 mask文件 ， – 工藝描述文件 process， – 器件仿真程序文件 ， （這兩個文件可以合并）。 31/65 浙大微電子 2023/1/30 第 32頁 /共 92頁 Mask定義 TL1 0100 1e3 0 5600 2 STI 2 0 1000 4600 5600 PWELL 1 0 5600 PWY(μm)X ( μ m )STI STI0 1 4 . 6 5 . 6 以上語句中， TL1 0100是文件開頭標識，被工藝和器件仿真程序所識別；第 2行的 1e3表示以下所出現(xiàn)的坐標均放大了1000倍，即所有坐標以 nm為單位（默認情況下，單位為 μm）。 2023/1/30 32/65 浙大微電子 2023/1/30 調(diào)用 mask文件 ? 工藝仿真需要導(dǎo)入的 mask文件以 .tl1為后綴名，本例中的mask文件的文件名是 ，相應(yīng)的描述語句是： mask = ? 對工藝文件進行仿真后要導(dǎo)出保存的文件是工藝仿真的結(jié)果文件，本例中是 process:0_0，相應(yīng)的描述語句是： savefile =process:0_0 tif 33/65 浙大微電子 2023/1/30 ? 但是這一格式的輸出文件只被工藝仿真軟件 TSUPREM4所識別，其主要用于初期程序的調(diào)試。這一輸出文件包含之前的工藝仿真步驟的所有信息，可以被后續(xù)仿真所調(diào)用，調(diào)用可以用以下語句進行： mask = initialize =process:0_0 tif 34/65 浙大微電子 2023/1/30 T4到 Medici的輸出 ? 如果要進行后續(xù)的器件仿真，必須在定義完電極之后將結(jié)果再保存為 medici格式。電極的定義用以下格式進行： electrode x= y= name=source ? 下面的語句實現(xiàn)了從 Tsuprem4到 Medici的過渡： savefile =ggnmos medici – 其中 medici輸出文件中被轉(zhuǎn) 化為電極， 。 ? 器件仿真程序文件是為電學(xué)特性設(shè)置仿真條件的。器件仿真需要導(dǎo)入的程序文件是包含了前續(xù)仿真結(jié)果綜合信息的文件（本例中是 ggnmos） , 相應(yīng)的描述語句是： mesh =ggnmos TSUPREM4 =5 – 其中的 =5指的是只對
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