微波管總成工藝課件(編輯修改稿)
2025-01-27 19:02 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 就是將管子內(nèi)部氣體抽走，使之達到一定真空度的工藝過程。 ?是微波管制造中一個關(guān)鍵的綜合性工序。 ?排氣過程中，不僅要排除管子內(nèi)部空間的氣體，還應(yīng)該去除管內(nèi)零件所吸附或吸收的氣體，還要對陰極進行必要的處理，分解、激活，老練。對充氣管還需要充入指定種類和氣壓的氣體等等。 ?微波真空器件排氣過程都必須 嚴(yán)格按預(yù)先設(shè)定好的排氣規(guī)范 進行。 ?一般微波管排氣過程主要包括以下一些步驟： ?（ 1）接管與檢漏 ?（ 2）去氣 ?（ 3）陰極處理 ?（ 4）封離 （ 1）接管與檢漏 ?接管 ： 將待排氣的器件與排氣臺真空系統(tǒng)連接起來。 ?玻璃排氣管：與排氣臺上的玻璃接口熔封； ?金屬排氣管 ：喇叭口壓接和刀口平面壓接。 ?取決于排氣臺上的接口形式。 ?檢漏： 檢查管子與排氣臺的連接是否可靠氣密，再次檢查管子本身的所有焊接是否發(fā)生了漏氣。 ?常用排氣臺檢漏方法：酒精檢漏和充氣檢漏。 ?酒精檢漏： 檢漏前先對管子進行抽氣，當(dāng)真空度達到 102~103帕以上時，用棉花或者綢布、毛筆蘸無水酒精擦涂器件與真空系統(tǒng)的接口部位和器件的其它焊縫，同時觀察真空系統(tǒng)的電離真空計指示有無變化，若真空度下降，則表示酒精所擦部位有漏氣。 ?充氣檢漏： 僅適用于雙真空排氣臺。 ? 上管完畢，將外真空鐘罩放下，管內(nèi)與管外同時抽真空。當(dāng)器件內(nèi)部真空度達到 103帕，外部真空達到 10帕以上時，關(guān)閉外真空抽氣泵，通過放氣閥向鐘罩內(nèi)部充入大氣，觀察電離真空計有無變化，如果內(nèi)真空的真空度下降，則說明有漏氣孔存在。 ? 充氣檢漏方法比酒精法更靈敏，可以檢出更小的漏孔，但不能檢出漏孔所在位置，往往還要用酒精法再進一步檢出漏孔位置，以便采取必要的彌補措施。 ? 當(dāng)確認(rèn)管子沒有任何漏孔以及與真空系統(tǒng)連接可靠后，就可以正式進入排氣程序。 （ 2）去氣 ?去氣： 指去除器件內(nèi)部所有零件以及真空系統(tǒng)內(nèi)部表面吸附的氣體和材料內(nèi)部吸收的氣體。 ?排氣去氣包括： 管子和真空系統(tǒng)去氣。 ?氣體分子與固體表面碰撞時，會被固體表面所吸附，部分氣體分子還會進入固體內(nèi)部被溶解吸收。 ?去氣原理： 固體表面吸附或者內(nèi)部吸收的氣體分子都可以通過加熱的方法，使分子動能增加、運動加劇，從而從固體表面或者內(nèi)部跑出。 （ a）升溫： ?當(dāng)器件內(nèi)部真空度達到 103~104帕以上，雙真空排氣臺的外部真空達到 101~102帕以上時才能開始加熱升溫去氣， ?升溫速度：根據(jù)器件的放氣量、真空系統(tǒng)的抽氣速率決定，原則就是保證在加熱過程中管子內(nèi)部真空在 103帕以上，外真空在 101帕以上。以防止引起陰極中毒、管子內(nèi)外表面氧化。 （ a）升溫： ?最高溫度：在保證管殼以及管內(nèi)零件不變形、不引起熱應(yīng)力產(chǎn)生的漏氣的原則下，盡可能高一些，以便去氣徹底。 ?玻璃金屬結(jié)構(gòu)：去氣溫度應(yīng)該控制在500℃ 以下， 450℃ 左右為宜； ?陶瓷金屬結(jié)構(gòu)： 烘烤溫度 500至 600℃ 。 ?金屬零件局部高頻加熱：溫度可達 700至800℃ 。 （ b） 一次保溫： ?去氣時在最高溫度下應(yīng)保溫一段時間，保證材料吸附和吸收的氣體徹底去除。保溫時間主要根據(jù)器件的大小、材料性質(zhì)來決定，小型微波管可保溫數(shù)小時，大型微波管可保溫 10~30小時。到保溫結(jié)束時，器件的內(nèi)部真空度一般都可以達到 105帕甚至更高。 （ c）系統(tǒng)烘烤 ?在升溫或保溫過程中，當(dāng)器件烘烤去氣一定時間，出氣量已經(jīng)不多、真空度稍高后才開始進行系統(tǒng)烘烤，以免器件與系統(tǒng)同時烘烤出氣量太大，使真空度超出要求范圍。 ?系統(tǒng)烘烤通常數(shù)小時至十多小時。 （ 3）陰極處理 ?（ a）陰極分解 ： ? 保溫結(jié)束后，在管子內(nèi)真空達到 104帕以上時才可以進行陰極分解 。為了避免燈絲加熱導(dǎo)致管子溫度過高，陰極處理時，適當(dāng)降低烘箱的烘烤溫度，通常降低 50 ℃ 左右。 ? 分解過程： 按排氣規(guī)范 逐步增加燈絲電流（或者電壓），每升一步至少應(yīng)保持 1~5分鐘，分解過程應(yīng)隨時監(jiān)視真空度，保證管內(nèi)真空度始終在 103帕以上，如低于 103帕，應(yīng)立即降低燈絲電流，減緩燈絲電流增加速度。在每一檔電流下，當(dāng)真空度恢復(fù)到 104帕以后，還需繼續(xù)保持 ~2分鐘才可以繼續(xù)增加燈絲電流。 （ b）陰極激活老練 ?陰極激活就是借助電流激活方式使鋇原子向陰極表面轉(zhuǎn)移的過程。陰極激活不僅能提高陰極的發(fā)射能力，而且也可以達到電極的電子轟擊去氣目的。 ?閃煉激活：加燈絲電流高于工作額定值，時間不超過 3~5分鐘。 （ c）初測發(fā)射 ?燈絲降至額定值，加陽極電壓如 100V、20
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