搬運(yùn)機(jī)器人外文翻譯(編輯修改稿)
2024-07-23 21:12 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 之間太小,阻礙了釋放晶片。物理設(shè)計(jì)的末端執(zhí)行器在集成電路產(chǎn)業(yè)晶片盒的半標(biāo)準(zhǔn)大小的規(guī)定為300毫米晶圓。端效應(yīng)的大小應(yīng)該匹配晶圓框的大小,以正確工作。因此,有一個(gè)請(qǐng)求端效應(yīng)的大小是長度不超過450毫米,寬度不超過250毫米,厚度沒有更多的超過5毫米?；谡?qǐng)求,我們最后決定我們的結(jié)束效應(yīng)是390毫米長,220毫米寬,4毫米厚度。我們也優(yōu)化了末端執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)結(jié)合現(xiàn)有的樣品,并想出了一個(gè)特殊的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)連接的凸起和微陣列末端執(zhí)行器。最后形成的末端執(zhí)行器顯示在圖13。末端執(zhí)行器的振動(dòng)將會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的問題晶片傳送。這將導(dǎo)致末端執(zhí)行器之間的摩擦和晶片盒、甚至碰撞,這將損害晶片。也嚴(yán)重的振動(dòng)將導(dǎo)致晶片脫離末端執(zhí)行器并導(dǎo)致嚴(yán)重后果。所以共振的結(jié)束效應(yīng)器和機(jī)器人臂必須避免。通過有限元素分析的末端執(zhí)行器設(shè)計(jì)在本文,我們得到它的動(dòng)態(tài)特性,如下所示表4。表4 末端執(zhí)行器設(shè)計(jì)的普通頻率我們已經(jīng)知道通過實(shí)驗(yàn)(不包括在這紙),機(jī)器人臂的振動(dòng)頻率是23赫茲,雖然第一階固有頻率的末端執(zhí)行器是72赫茲,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過臂的振動(dòng)頻率。輸入的頻率也低于1赫茲。所以最后的效應(yīng)器設(shè)計(jì)是本文能夠避免共振與機(jī)器人的手臂,滿足請(qǐng)求的動(dòng)態(tài)特征。對(duì)于大氣晶片傳送機(jī)器人在前面研究結(jié)果的基礎(chǔ)上,我們?cè)O(shè)計(jì)四個(gè)吸收毛孔最后效應(yīng)是一致的分布在一個(gè)圓半徑為110毫米。當(dāng)前大氣晶片傳送機(jī)器人可以達(dá)到最大的傳輸加速度為1 g。 g。然后通過方程根據(jù)已知參數(shù),半徑吸收毛孔r可以計(jì)算為r=3毫米。根據(jù)尺寸要求末端執(zhí)行器和引用對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品,我們終于設(shè)計(jì)末端執(zhí)行器的大氣晶片傳送機(jī)器人如圖9所示。它的接觸寬度與晶片是20毫米。圖9 (a)大氣晶片傳送機(jī)器人末端執(zhí)行器的前面原理圖；(b)背面；(c)實(shí)物在案例的共振的末端執(zhí)行器和機(jī)器人手臂,我們還必須分析末端執(zhí)行器的動(dòng)態(tài)特征。他們見表5,從這可以看到,第一階固有頻率的結(jié)束效應(yīng)是54302赫茲,比手臂的振動(dòng)頻率是23赫茲。同樣的頻率輸入低于1赫茲。所以設(shè)計(jì)的末端執(zhí)行器能夠?yàn)榱吮苊夤舱衽c機(jī)器人的手臂,來滿足要求動(dòng)態(tài)特性。表5 大氣機(jī)器人末端執(zhí)行器的普通頻率對(duì)于真空晶片傳送機(jī)器人的末端執(zhí)行器。首先,本文應(yīng)用研究壁虎啟發(fā)超細(xì)纖維陣列的設(shè)計(jì)末端執(zhí)行器的真空晶片傳輸機(jī)器人。晶圓片的變形與不同的聯(lián)系在真空條件轉(zhuǎn)移比較它顯示4個(gè)凹凸接觸是最合適的方法。超細(xì)纖維的研究數(shù)組用于晶片交通運(yùn)輸和關(guān)系在晶片傳送加速度、附著力和材料、尺寸參數(shù)的超細(xì)纖維數(shù)組建立了。然后一種微陣列凹凸與纖維直徑5毫米和纖維長度15毫米的設(shè)計(jì)和固定到一個(gè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化的末端執(zhí)行器。最后,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)疙瘩由不銹鋼嗎鋼或橡膠。這意味著應(yīng)用程序的超細(xì)纖維數(shù)組對(duì)真空轉(zhuǎn)移機(jī)器人具有顯著提高機(jī)器人的傳輸效率和這個(gè)有著重要的意義來集成電路制造行業(yè)。對(duì)于末端執(zhí)行器大氣晶片傳送機(jī)器人,我們已經(jīng)分析了吸收毛孔的號(hào)碼, 位置,半徑和接觸寬度在晶片變形影響。據(jù)分析,四個(gè)吸收毛孔一致分布在一個(gè)圓半徑為110 mm被選擇作為我們的設(shè)計(jì)方案。壓力分布在吸收面積研究和結(jié)果顯示沒有壓力集中在這個(gè)地區(qū)?？紤]吸收力和末端執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)、計(jì)算公式的最大轉(zhuǎn)移加速建立大氣機(jī)器人。基于這些研究大氣機(jī)器人末端執(zhí)行器,一種新的末端執(zhí)行器滿足請(qǐng)求的動(dòng)態(tài)提出了特征。最后,實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證研究的正確性末端執(zhí)行器的前面大氣機(jī)器人,我們已經(jīng)成功地在吸收力方面提高了轉(zhuǎn)移能力和控制晶片的大氣機(jī)器人變形。參 考 資 料[1] Autumn, K., Liang, Y., Hsieh, T., Zesch, W., Chan, .,Kenny, T., Fearing, R. and Full, . (2000), “Adhesive force of a single gecko foothair”, Nature, Vol. 405, 8 June,pp. 6815.[2] Bonora, . and Hine, . (2006), “Ultra low contact area end effector”, United States Patent No. 2006/0181095 A1.[3] C
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