先進制造技術(shù)——微機電系統(tǒng)(編輯修改稿)
2025-05-29 06:24 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ?MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景 六、 MEMS技術(shù)的應(yīng)用 ?空間應(yīng)用 ?用作運行參數(shù)測量的微加速度計已進行了地面輻照實驗 ， 正在進行飛行搭載實驗 ?微陀螺 、 微推進和微噴管等微系統(tǒng)基礎(chǔ)研究 ?通信方面 ?光通信正在向有光交換功能的全光通信網(wǎng)絡(luò)方向發(fā)展 ?無線通信則要求增強功能 （ 如聯(lián)網(wǎng)等 ） 和減小功耗 。 包括美國朗訊公司在內(nèi)的一些公司和大學(xué)正在研究全光通信網(wǎng)用的微系統(tǒng)及無線通信用射頻微系統(tǒng) ?微傳感器： ?機械類：力學(xué)、力矩、加速度、速度、角速度 (陀螺 )、位置、流量傳感器 ?磁學(xué)類：磁通計、磁場計 ?熱學(xué)類：溫度計 ?化學(xué)類：氣體成分、濕度、 PH值和離子濃度傳感器 ?生物學(xué)類： DNA芯片 電容式微加速度計 ?微慣性傳感器及微型慣性測量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制和玩具。 靜電 ?旋轉(zhuǎn)馬達 微馬達 ?線性馬達 美國提出的硅固態(tài)衛(wèi)星的概念圖，這個衛(wèi)星除了蓄電池外， 全由硅片構(gòu)成，直徑僅 15cm 光通信 MEMS器件 ?定義 ?Optical Transducers， MOEMS, Optical MEMS ?分類 ?傳統(tǒng)的光傳感器、轉(zhuǎn)換器 ?光傳感、成像、發(fā)光器件（光電子） ?微機械光學(xué)器件
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