先進制造技術——微機電系統(tǒng)-wenkub
2023-05-17 06:24:49 本頁面
【正文】 Structure Substrate Hinges Torsion Hinges 1st DOF 2nd DOF Forceredirecting Linkage （ a）微馬達驅動 ?改變反射方向 （ b）靜電驅動 + + + + + + + + + + （ c）磁力驅動 （ d）熱驅動 MEMS微鏡的應用 全光通信中的光交換開關 平板顯示器 DMD—— 應用 光交換開關 微機械 1X2光開關 微機械 1X8光開關 可轉動的硅微鏡 可轉動的硅微鏡 入射光纖 出射光纖 二維光交換開關 (2) 光纖固定結構 ?V形槽 ?各種卡緊結構 美國噴氣推進實驗室(JPL) 展示的采用MEMS技術的電阻電熱式微推進器樣機 （液體氣化方式 ） 。 微推進器由推進劑出貯箱 、微閥 、 微過濾器 、 微型噴口等組成 ， 微型噴口利用 MEMS技術中的體硅工藝制作 。人們不僅要開發(fā)各種制造 MEMS的技術，更重要的是如何將 MEMS器件用于實際系統(tǒng)，并從中受益。 微推進器 ?MEMS技術及其產品的增長速度非常之高，并且目前正處在加速發(fā)展時期 七、微機電系統(tǒng)的設計技術 ?MEMS用批量化的微電子技術制造出尺寸與集成電路大小相當?shù)姆请娮酉到y(tǒng)，實現(xiàn)電子系統(tǒng)和非電子系統(tǒng)的一體化集成 ?從根本上解決信息系統(tǒng)的微
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