先進(jìn)制造技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)-資料下載頁
2025-05-02 06:24本頁面
【正文】 式微推進(jìn)器樣機(jī) (固體升華方式 )。 微推進(jìn)器由推進(jìn)劑出貯箱 、微閥 、 微過濾器 、 微型噴口等組成 ， 微型噴口利用 MEMS技術(shù)中的體硅工藝制作 。 其性能目標(biāo)為：比沖 50～ 75s， 推力， 功率 2W/mN， 質(zhì)量為幾克 ， 大小為 1cm2。 微推進(jìn)器 ?MEMS技術(shù)及其產(chǎn)品的增長速度非常之高，并且目前正處在加速發(fā)展時期 七、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計技術(shù) ?MEMS用批量化的微電子技術(shù)制造出尺寸與集成電路大小相當(dāng)?shù)姆请娮酉到y(tǒng)，實現(xiàn)電子系統(tǒng)和非電子系統(tǒng)的一體化集成 ?從根本上解決信息系統(tǒng)的微型化問題 ?實現(xiàn)許多以前無法實現(xiàn)的功能 ?今天的 MEMS與 40年前的集成電路類似，MEMS對未來的社會發(fā)展將會產(chǎn)生什么影響目前還難以預(yù)料，但它是 21世紀(jì)初一個新的產(chǎn)業(yè)增長點，則是無可質(zhì)疑的 研究領(lǐng)域 ?理論基礎(chǔ)：隨著 MEMS尺寸的縮小 ， 有些宏觀的物理特性發(fā)生了改變 ， 很多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化 ， 如力的尺寸效應(yīng) 、 微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng) 、 微觀摩擦機(jī)理等等 ， ?微動力學(xué) ?微流體力學(xué) ?微熱力學(xué) ?微摩擦學(xué) ?微光學(xué) ?微結(jié)構(gòu)學(xué) 研究領(lǐng)域 ?技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計、工藝加工 (高深寬比多層微結(jié)構(gòu) )、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測量等。 ?應(yīng)用研究：如何應(yīng)用這些 MEMS系統(tǒng)也是一門非常重要的學(xué)問。人們不僅要開發(fā)各種制造 MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將 MEMS器件用于實際系統(tǒng)，并從中受益。
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