先進(jìn)制造技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)(專(zhuān)業(yè)版)
【正文】 微推進(jìn)器由薄膜加熱器、 微型噴口等組成 。人們不僅要開(kāi)發(fā)各種制造 MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將 MEMS器件用于實(shí)際系統(tǒng)，并從中受益。 微推進(jìn)器 美國(guó)噴氣推進(jìn)實(shí)驗(yàn)室 (JPL)展示的采用 MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機(jī) (固體升華方式 )。 包括美國(guó)朗訊公司在內(nèi)的一些公司和大學(xué)正在研究全光通信網(wǎng)用的微系統(tǒng)及無(wú)線(xiàn)通信用射頻微系統(tǒng) ?微傳感器： ?機(jī)械類(lèi)：力學(xué)、力矩、加速度、速度、角速度 (陀螺 )、位置、流量傳感器 ?磁學(xué)類(lèi)：磁通計(jì)、磁場(chǎng)計(jì) ?熱學(xué)類(lèi)：溫度計(jì) ?化學(xué)類(lèi)：氣體成分、濕度、 PH值和離子濃度傳感器 ?生物學(xué)類(lèi)： DNA芯片 電容式微加速度計(jì) ?微慣性傳感器及微型慣性測(cè)量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制、汽車(chē)自動(dòng)駕駛、汽車(chē)防撞氣囊、汽車(chē)防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制和玩具。 微推進(jìn)器 ?MEMS技術(shù)及其產(chǎn)品的增長(zhǎng)速度非常之高，并且目前正處在加速發(fā)展時(shí)期 七、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)技術(shù) ?MEMS用批量化的微電子技術(shù)制造出尺寸與集成電路大小相當(dāng)?shù)姆请娮酉到y(tǒng)，實(shí)現(xiàn)電子系統(tǒng)和非電子系統(tǒng)的一體化集成 ?從根本上解決信息系統(tǒng)的微型化問(wèn)題 ?實(shí)現(xiàn)許多以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)的功能 ?今天的 MEMS與 40年前的集成電路類(lèi)似，MEMS對(duì)未來(lái)的社會(huì)發(fā)展將會(huì)產(chǎn)生什么影響目前還難以預(yù)料，但它是 21世紀(jì)初一個(gè)新的產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)點(diǎn)，則是無(wú)可質(zhì)疑的 研究領(lǐng)域 ?理論基礎(chǔ)：隨著 MEMS尺寸的縮小 ， 有些宏觀
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