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先進(jìn)制造技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)-全文預(yù)覽

2025-05-23 06:24 上一頁面

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【正文】 硅尖錐 玻璃 熒光粉 電子 電場(chǎng) 發(fā)光 利用了硅的三微結(jié)構(gòu) 與機(jī)械加工特性 二、引 言 ?信息系統(tǒng)微型化 ?系統(tǒng)體積大大減小 ?性能、可靠性大幅度上升 ?功耗和價(jià)格大幅度降低 ?信息系統(tǒng)的目標(biāo):微型化和集成化 ?微電子解決電子系統(tǒng)的微型化 ?非電子系統(tǒng)成為整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)一步縮小的關(guān)鍵 機(jī)械 部分 傳感 執(zhí)行 控制部分 電子學(xué) MEMS 微電子學(xué) 三、 MEMS概念 ?從廣義上講, MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng) 非純電路裝置 Fabrication of Silicon Tips for Scanning Probe Microscopy 硅微尖錐 硅微齒輪 ?弧形梳齒 靜電 硅微轉(zhuǎn)子 硅微槽 硅微梁 硅微梁 硅微轉(zhuǎn)動(dòng)器 硅微拖動(dòng)器 硅微橋 硅微橋 硅微琴 已經(jīng)制造出尖端直徑為 5?m的可以夾起一個(gè)紅細(xì)胞的微型鑷子 可以用于醫(yī)療手術(shù) 硅微型鑷子 四、 MEMS制造工藝 硅 MEMS工藝 (
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