先進(jìn)制造技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)(參考版)
2025-05-05 06:24本頁(yè)面
【正文】 人們不僅要開(kāi)發(fā)各種制造 MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將 MEMS器件用于實(shí)際系統(tǒng)，并從中受益。 微推進(jìn)器 ?MEMS技術(shù)及其產(chǎn)品的增長(zhǎng)速度非常之高，并且目前正處在加速發(fā)展時(shí)期 七、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)技術(shù) ?MEMS用批量化的微電子技術(shù)制造出尺寸與集成電路大小相當(dāng)?shù)姆请娮酉到y(tǒng)，實(shí)現(xiàn)電子系統(tǒng)和非電子系統(tǒng)的一體化集成 ?從根本上解決信息系統(tǒng)的微型化問(wèn)題 ?實(shí)現(xiàn)許多以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)的功能 ?今天的 MEMS與 40年前的集成電路類(lèi)似，MEMS對(duì)未來(lái)的社會(huì)發(fā)展將會(huì)產(chǎn)生什么影響目前還難以預(yù)料，但它是 21世紀(jì)初一個(gè)新的產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)點(diǎn)，則是無(wú)可質(zhì)疑的 研究領(lǐng)域 ?理論基礎(chǔ)：隨著 MEMS尺寸的縮小 ， 有些宏觀的物理特性發(fā)生了改變 ， 很多原來(lái)的理論基礎(chǔ)都會(huì)發(fā)生變化 ， 如力的尺寸效應(yīng) 、 微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng) 、 微觀摩擦機(jī)理等等 ， ?微動(dòng)力學(xué) ?微流體力學(xué) ?微熱力學(xué) ?微摩擦學(xué) ?微光學(xué) ?微結(jié)構(gòu)學(xué) 研究領(lǐng)域 ?技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計(jì)、工藝加工 (高深寬比多層微結(jié)構(gòu) )、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測(cè)量等。 微推進(jìn)器由推進(jìn)劑出貯箱 、微閥 、 微過(guò)濾器 、 微型噴口等組成 ， 微型噴口利用 MEMS技術(shù)中的體硅工藝制作 。其性能目標(biāo)為：比沖75～ 125s， 推力 ， 功率 5W ， 效率≥50%， 質(zhì)量為幾克 ，大小為 1cm2。 靜電 ?旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 微馬達(dá) ?線性馬達(dá)
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