先進(jìn)制造技術(shù)——微機電系統(tǒng)(已修改)
2025-05-14 06:24 本頁面
【正文】 微機電系統(tǒng) (MEMS) MicroElectroMechanical Systems 一、 MEMS技術(shù)的歷史 ?微系統(tǒng)是從微傳感器發(fā)展而來的，已有幾次突破性的進(jìn)展 ?70年代微機械壓力傳感器產(chǎn)品問世 ?80年代末研制出硅靜電微馬達(dá) ?90年代噴墨打印頭，硬盤讀寫頭、硅加速度計和數(shù)字微鏡器件等相繼規(guī)?；a(chǎn) ?充分展示了微系統(tǒng)技術(shù)及其微系統(tǒng)的巨大應(yīng)用前景 F 微電子壓力傳感器 利用了硅的三微結(jié)構(gòu)與機械特性 聚合物薄膜 硅 壓敏電阻器 吸濕膨脹 微電子濕度傳感器 真空微電子平板顯示器 硅 Si基體 硅尖錐 玻璃 熒光粉 電子 電場 發(fā)光 利用了硅的三微結(jié)構(gòu) 與機械加工特性 二、引 言 ?信息系統(tǒng)微型化 ?系統(tǒng)體積大大減小 ?性能、可靠性大幅度上升 ?功耗和價格大幅度降低 ?信息系統(tǒng)的目標(biāo)：微型化和集成化 ?微電子解決電子系統(tǒng)的微型化 ?非電子系統(tǒng)成為整個系統(tǒng)進(jìn)一步縮小的關(guān)鍵 機械 部分 傳感 執(zhí)行 控制部分 電子學(xué) MEMS 微電子學(xué) 三、 MEMS概念 ?從廣義上講， MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體的微型機電系統(tǒng) 非純電路裝置 Fabrication of S
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1