先進制造技術(shù)顧明成(參考版)
2025-05-17 15:03本頁面
【正文】 微細加工技術(shù)的發(fā)展與趨勢 。 ? 提高微細加工的經(jīng)濟性 LIGA出現(xiàn)是微機械進行批量生產(chǎn)的范例。 美國的 IBM公司用 STM操縱 35個氙原子 ，在鎳板上拼出了 “ IBM”三個字母； 日本用原子拼成了 “ Peace”一詞 中國科學(xué)院化學(xué)研究所用原子擺成 中國地圖 ； ? 加工方法多樣化 兩個領(lǐng)域：微機械加工、半導(dǎo)體化學(xué)加工； 從單一加工技術(shù)向組合加工技術(shù)發(fā)展。 分子裝配技術(shù) 掃描隧道顯微鏡 STM、原子力顯微鏡 AFM具有 分辨率，是精度最高的表面形貌觀測儀。 淀積密封膜 ：是用化學(xué)氣相淀積法在構(gòu)件和襯底之間淀積密封膜。 方法 ：反應(yīng)封接、淀積密封膜和鍵合技術(shù)。 在光致抗蝕劑上生成 曝光圖形實體 ； 用曝光蝕刻的圖形實體作電鑄用胎膜，在胎膜上沉積金屬形成金屬微結(jié)構(gòu)件； 用 金屬微結(jié)構(gòu)件作為注塑模具注塑出所需的微型零件。 面刻蝕加工技術(shù) ?在硅基片上淀積磷玻璃犧牲層材料； ?腐蝕犧牲層形成所需形狀； ?淀積和腐蝕結(jié)構(gòu)材料薄膜層； ?除去犧牲層就得到分離空腔微橋結(jié)構(gòu)。 光刻加工工藝示例 體刻蝕加工技術(shù) ? 體微機械加工 ：用腐蝕方法將硅基片有選擇性地去除部分材料的方法。 ? 制造成本低 類似半導(dǎo)體制造工藝 。 ? 消耗的能量遠小于傳統(tǒng)機械 如 5*5*比其體積大得多的小型泵流量的 1000倍 。 ? 性能穩(wěn)定 、 可靠性高 微機械體積小 ， 熱膨脹 、 噪聲 、
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