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正文內(nèi)容

zygo干涉儀使用說(shuō)明(編輯修改稿)

2025-05-04 07:25 本頁(yè)面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 體放置到樣品支架上,調(diào)整晶體方向,使其反射回的光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵,使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。 (如圖五所示),在彈出的對(duì)話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對(duì)話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新,鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度,在彈出的對(duì)話框中,錄入晶體通光面寬度,按回車鍵確定。 Data按鈕(如圖五所示), 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對(duì)話框中,首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定(例如正方形則選擇square)。在動(dòng)態(tài)圖像中,使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體,要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。點(diǎn)擊Define,定義待測(cè)區(qū)域。,系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。當(dāng)監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave()時(shí)(如圖六所示)。測(cè)試完畢后關(guān)閉測(cè)試操作界面,點(diǎn)擊左上角X符號(hào),退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。圖五 圖六 波前畸變測(cè)試主要測(cè)試步驟如下:(ALIGN/VIEW),使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。扭動(dòng)參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕,調(diào)整鏡面方向,使得反射鏡反射回的作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼6/8最亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵(ALIGN/VIEW),使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。,通過(guò)觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體,使晶體垂直于測(cè)試光(監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見(jiàn))。,在彈出的對(duì)話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對(duì)話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新,鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度,在彈出的對(duì)話框中,錄入晶體通光面寬度,按回車鍵確定。 點(diǎn)擊測(cè)試界面中左上角Mask Data按鈕, 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對(duì)話框中,首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定(例如正方形則選擇square)。在動(dòng)態(tài)圖像中,使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體,要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。點(diǎn)擊Define,定義待測(cè)區(qū)域。,系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。當(dāng)監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave()時(shí),(如圖五所示)。測(cè)試完畢后關(guān)閉波面測(cè)試操作界面,點(diǎn)擊左上角X符號(hào),退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。7 細(xì)節(jié)說(shuō)明和結(jié)語(yǔ) 安全要求 測(cè)量過(guò)程中,注意對(duì)透鏡的防護(hù),尤其是表面和邊角容易損壞的部位。 標(biāo)準(zhǔn)鏡使用時(shí)要插入到位,螺絲擰緊。不用時(shí)要擺放到盒子中避免意外損壞。 :開(kāi)機(jī),選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡,找到待測(cè)零件表面干涉條紋,輸入零件號(hào)等相關(guān)信息,設(shè)定長(zhǎng)度基準(zhǔn),取掩膜,測(cè)量,結(jié)果保存和打印。不同的零件在找干涉條紋和一些設(shè)定方面有所區(qū)別,但是基本步驟差不多。 選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡 選擇:平面和柱面選擇平面標(biāo)準(zhǔn)鏡TF,
點(diǎn)擊復(fù)制文檔內(nèi)容
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