zygo干涉儀使用說明(編輯修改稿)
2025-05-04 07:25 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 體放置到樣品支架上，調(diào)整晶體方向，使其反射回的光斑與十字分劃線交點重合。完成后，按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵，使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。 （如圖五所示），在彈出的對話界面中點擊Fringe按鈕,對話框中圖像顯示會進行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標標記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。 Data按鈕（如圖五所示）, 在彈出的有動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項中選擇晶體外形標定（例如正方形則選擇square）。在動態(tài)圖像中，使用鼠標準確標定待測晶體，要求標定范圍不能超出晶體。點擊Define，定義待測區(qū)域。，系統(tǒng)進行自動測算。當監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時（如圖六所示）。測試完畢后關(guān)閉測試操作界面，點擊左上角X符號，退回到ZYGO主測試操作桌面。圖五 圖六 波前畸變測試主要測試步驟如下：（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。扭動參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼6/8最亮光斑與十字分劃線交點重合。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。，通過觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂直于測試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見）。，在彈出的對話界面中點擊Fringe按鈕,對話框中圖像顯示會進行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標標記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。 點擊測試界面中左上角Mask Data按鈕, 在彈出的有動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項中選擇晶體外形標定（例如正方形則選擇square）。在動態(tài)圖像中，使用鼠標準確標定待測晶體，要求標定范圍不能超出晶體。點擊Define，定義待測區(qū)域。，系統(tǒng)進行自動測算。當監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時，（如圖五所示）。測試完畢后關(guān)閉波面測試操作界面，點擊左上角X符號，退回到ZYGO主測試操作桌面。7 細節(jié)說明和結(jié)語 安全要求 測量過程中，注意對透鏡的防護，尤其是表面和邊角容易損壞的部位。 標準鏡使用時要插入到位，螺絲擰緊。不用時要擺放到盒子中避免意外損壞。 ：開機，選擇、安裝標準鏡，找到待測零件表面干涉條紋，輸入零件號等相關(guān)信息，設(shè)定長度基準，取掩膜，測量，結(jié)果保存和打印。不同的零件在找干涉條紋和一些設(shè)定方面有所區(qū)別，但是基本步驟差不多。 選擇、安裝標準鏡 選擇：平面和柱面選擇平面標準鏡TF，
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