zygo干涉儀使用說(shuō)明-閱讀頁(yè)
2025-04-22 07:25本頁(yè)面
【正文】 view 按鈕切換到align 模式，調(diào)整待測(cè)零件的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)在動(dòng)態(tài)窗口中找到零件表面反射回來(lái)的光點(diǎn)，并將其調(diào)整到十字線中心。 球面：將鏡片夾到六位調(diào)整架上，待測(cè)面正對(duì)干涉儀主機(jī)。此時(shí)干涉儀中出現(xiàn)的條紋稱為貓眼像（cateye），也常稱作標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。凸面靠近，凹面遠(yuǎn)離干涉儀主機(jī)尋找表面像，緊盯剛才找到的貓眼條紋，它會(huì)漸漸變小然后又慢慢變大，再次變大的條紋就是零件的表面像，微調(diào)六維調(diào)整架將條紋調(diào)到3 根。如果僅僅要測(cè)量面形， 即可；如果還要測(cè)量曲率半徑，則在找到鏡片表面像之后按下光 柵尺面板上的“X”按鈕讓示數(shù)歸零，再次回到貓眼像位置，此時(shí)光柵尺的示數(shù)即為待測(cè)零件的曲率半徑。 柱面：柱面的情況比平面和球面要復(fù)雜一些，除了要使用平面標(biāo)準(zhǔn)鏡以外還需要使用一塊柱面輔助鏡CGH。切換到view 模 式，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡位置，把CGH 周圍的圓環(huán)調(diào)到無(wú)條紋，然后再切換到align 模式。調(diào)整前后將細(xì)線縮小成點(diǎn)，并調(diào)整到十字線中間。 輸入零件信息 點(diǎn)擊 measurement control 按鈕，在part number 欄中輸入貨號(hào)，serial number 欄中輸入零件編號(hào)。 設(shè)定長(zhǎng)度基準(zhǔn) 點(diǎn)擊calibrate 按鈕，在彈出的窗口中劃一條已知長(zhǎng)度的線，并在彈出的窗口中輸入長(zhǎng)度。如果測(cè)量不到整個(gè)面 面形的球面按照R/（F/）計(jì)算實(shí)際測(cè)量的口徑，作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。點(diǎn)擊analysis control 按鈕，在彈出的窗口中選擇 auto aperture ON，在下面的inside 欄中輸入有效百分比，outside 欄中輸入中心需要去除的部分。點(diǎn)擊mask 按鈕進(jìn)入掩膜窗口，按需要選擇circle，rectangle，square，ellipse，curve 等形狀的掩膜，在干涉圖上畫出合適的大小，可以通過中間的move，resize，adjust 等功能調(diào)整到合適的大小和位置。根據(jù)零件形狀可以使用各種形狀掩膜的組合，如果要挖去一部分，則選中該掩膜點(diǎn)擊unfill功能調(diào)整到合適的大小和位置。根據(jù)零件形狀可以使用各種形狀掩膜的組合，如果要挖去一部分，則選中該掩膜點(diǎn)擊unfill 按鈕來(lái)使其空白。去除手動(dòng)掩膜在mask 窗口中選擇pick 然后選中需要去除的掩膜，點(diǎn)擊delete 按鈕來(lái)刪除。 測(cè)量 點(diǎn)擊measure 按鈕或者控制盒上的measure 按鈕或按下鍵盤上“F1”鍵開始測(cè)量。贈(zèng)語(yǔ)； 如果我們做與不做都會(huì)有人笑，如果做不好與做得好還會(huì)有人笑，那么我們索性就做得更好，來(lái)給人笑吧！ 現(xiàn)在你不玩命的學(xué)，以后命玩你。不要做金錢、權(quán)利的奴隸；應(yīng)學(xué)會(huì)做“金錢、權(quán)利”的主人。最值得欣賞的風(fēng)景，是自己奮斗的足跡。壓力不是有人比你努力，而是那些比你牛幾倍的人依然比你
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