zygo干涉儀使用說明-文庫吧在線文庫
【正文】 部經(jīng)理負責保證過程實施所需的培訓及資源。扭動參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的最亮光斑與十字分劃線交點重合。并在動態(tài)圖像上方無晶體的空間內(nèi)，選擇與待測晶體規(guī)格相近的區(qū)域，此區(qū)域?qū)⒆鳛閰⒖紖^(qū)域。移除標準參考反射鏡面，將晶體放置到樣品支架上，調(diào)整晶體方向，使其反射回的光斑與十字分劃線交點重合。當監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時（如圖六所示）。 點擊測試界面中左上角Mask Data按鈕, 在彈出的有動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項中選擇晶體外形標定（例如正方形則選擇square）。不用時要擺放到盒子中避免意外損壞。按下控制盒上的align/view 按鈕切換到align 模式，調(diào)整待測零件的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)在動態(tài)窗口中找到零件表面反射回來的光點，并將其調(diào)整到十字線中心。如果僅僅要測量面形， 即可；如果還要測量曲率半徑，則在找到鏡片表面像之后按下光 柵尺面板上的“X”按鈕讓示數(shù)歸零，再次回到貓眼像位置，此時光柵尺的示數(shù)即為待測零件的曲率半徑。 輸入零件信息 點擊 measurement control 按鈕，在part number 欄中輸入貨號，serial number 欄中輸入零件編號。點擊mask 按鈕進入掩膜窗口，按需要選擇circle，rectangle，square，ellipse，curve 等形狀的掩膜，在干涉圖上畫出合適的大小，可以通過中間的move，resize，adjust 等功能調(diào)整到合適的大小和位置。 測量 點擊measure 按鈕或者控制盒上的measure 按鈕或按下鍵盤上“F1”鍵開始測量。壓力不是有人比你努力，而是那些比你牛幾倍的人依然比你努力。不要做金錢、權(quán)利的奴隸；應(yīng)學會做“金錢、權(quán)利”的主人。根據(jù)零件形狀可以使用各種形狀掩膜的組合，如果要挖去一部分，則選中該掩膜點擊unfill 按鈕來使其空白。如果測量不到整個面 面形的球面按照R/（F/）計算實際測量的口徑，作為長度基準。切換到view 模 式，微調(diào)標準鏡位置，把CGH 周圍的圓環(huán)調(diào)到無條紋，然后再切換到align 模式。此時干涉儀中出現(xiàn)的條紋稱為貓眼像（cateye），也常稱作標準鏡的像。球面標準鏡在選擇的時候要考慮鏡片的曲率半徑和口徑，參照JENfizar 的標準鏡選擇。當監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時，（如圖五所示）。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。 Data按鈕（如圖五所示）, 在彈出的有動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項中選擇晶體外形標定（例如正方形則選擇square）。，系統(tǒng)進行自動測算。圖二，在彈出的對話界面中點擊Fringe按鈕,對話框中圖
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