【正文】 開啟ZYGO顯示器電源，機(jī)箱控制面板上電源按鈕：MASTER、MONITOR、AUXAUX2，以及干涉儀主機(jī)箱右側(cè)下方POWER。，系統(tǒng)進(jìn)行自動測算。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。球面標(biāo)準(zhǔn)鏡在選擇的時候要考慮鏡片的曲率半徑和口徑，參照J(rèn)ENfizar 的標(biāo)準(zhǔn)鏡選擇。切換到view 模 式，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡位置，把CGH 周圍的圓環(huán)調(diào)到無條紋，然后再切換到align 模式。根據(jù)零件形狀可以使用各種形狀掩膜的組合，如果要挖去一部分，則選中該掩膜點(diǎn)擊unfill 按鈕來使其空白。壓力不是有人比你努力，而是那些比你牛幾倍的人依然比你努力。點(diǎn)擊mask 按鈕進(jìn)入掩膜窗口，按需要選擇circle，rectangle，square，ellipse，curve 等形狀的掩膜，在干涉圖上畫出合適的大小，可以通過中間的move，resize，adjust 等功能調(diào)整到合適的大小和位置。如果僅僅要測量面形， 即可；如果還要測量曲率半徑，則在找到鏡片表面像之后按下光 柵尺面板上的“X”按鈕讓示數(shù)歸零，再次回到貓眼像位置，此時光柵尺的示數(shù)即為待測零件的曲率半徑。不用時要擺放到盒子中避免意外損壞。當(dāng)監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時（如圖六所示）。并在動態(tài)圖像上方無晶體的空間內(nèi)，選擇與待測晶體規(guī)格相近的區(qū)域，此區(qū)域?qū)⒆鳛閰⒖紖^(qū)域。品管部經(jīng)理負(fù)責(zé)保證過程實(shí)施所需的培訓(xùn)及資源。 用于一般的平面和球面的測量， 用于柱面面形的測量。 貓眼像（cateye）又稱為標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。 按照校準(zhǔn)計(jì)劃對設(shè)備定期檢定。作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼4/8圖三然后，點(diǎn)擊下部選項(xiàng)中的BG Inc使該按鈕變?yōu)锽G EXC，鎖定選擇區(qū)，點(diǎn)擊Define，定義Acq。測試完畢后關(guān)閉測試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號，退回到ZYGO主測試操作桌面。 ：開機(jī)，選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡，找到待測零件表面干涉條紋，輸入零件號等相關(guān)信息，設(shè)定長度基準(zhǔn)，取掩膜，測量，結(jié)果保存和打印。注意：整個回歸貓眼的過程中不可觸碰任何調(diào)整旋鈕。完成后點(diǎn)擊BG INC 按鈕來確認(rèn)。學(xué)習(xí)參考。完成后點(diǎn)擊BG INC 按鈕來確認(rèn)。使用時，切換到align 模式，將CGH 的平面對準(zhǔn)干涉儀，調(diào)整左右旋轉(zhuǎn)，把第3 個光點(diǎn)調(diào)到十字線中心。 選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡 選擇：平面和柱面選擇平面標(biāo)準(zhǔn)鏡TF，球面選擇球面標(biāo)準(zhǔn)鏡。扭動參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼6/8最亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。再點(diǎn)擊R