zygo干涉儀使用說(shuō)明-wenkub
2023-04-22 07:25:36 本頁(yè)面
【正文】 。6 操作主要內(nèi)容.依次開(kāi)啟ZYGO顯示器電源，機(jī)箱控制面板上電源按鈕：MASTER、MONITOR、AUXAUX2，以及干涉儀主機(jī)箱右側(cè)下方POWER。品管部經(jīng)理負(fù)責(zé)保證過(guò)程實(shí)施所需的培訓(xùn)及資源。設(shè)定長(zhǎng)度基準(zhǔn)的目的就是告訴干涉儀圖形中的一段長(zhǎng)度相當(dāng)于鏡片中長(zhǎng)度的多少，方便控制測(cè)量區(qū)域和設(shè)定掩膜。View 模式是按下控制盒上的align/view 切換的2 個(gè)模式之一，可以看到干涉條紋，特點(diǎn)是放大率較高， 但是視場(chǎng)較小。包含待測(cè)零件的表面或波前信息，是面形檢測(cè)的主要信息來(lái)源。 用于一般的平面和球面的測(cè)量， 用于柱面面形的測(cè)量。 3 錄取數(shù)據(jù) 在檢驗(yàn)過(guò)程中將會(huì)生成以下記錄： （保存文件名為*.Tif），在實(shí)時(shí)窗口上點(diǎn)擊FILESAVE保存。. . . .作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼1/81目的 為了使員工正確熟悉的使用ZYGO干涉儀。（保存文件名為*.Dat），測(cè)試完成后點(diǎn)擊SAVE DATE保存。 貓眼像（cateye）又稱(chēng)為標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。 升降臺(tái)可以升降的平臺(tái)，帶有小傾角調(diào)節(jié)功能，一般用于放置平面元件。一般在align界面對(duì)準(zhǔn)后在view界面觀察條紋。 掩膜（mask）表明干涉圖中有效區(qū)域的工具。 按照校準(zhǔn)計(jì)劃對(duì)設(shè)備定期檢定。進(jìn)入Windows 后， （如圖一）操作軟件，運(yùn)行程序，進(jìn)入ZYGO測(cè)試操作桌面。完成后,按遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話(huà)框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼4/8圖三然后，點(diǎn)擊下部選項(xiàng)中的BG Inc使該按鈕變?yōu)锽G EXC，鎖定選擇區(qū)，點(diǎn)擊Define，定義Acq。當(dāng)監(jiān)視器中左下角出現(xiàn)Wedge sec（）時(shí)， 即為晶體的平行度。完成后，按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵，使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。測(cè)試完畢后關(guān)閉測(cè)試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號(hào)，退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。，通過(guò)觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂直于測(cè)試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見(jiàn)）。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。測(cè)試完畢后關(guān)閉波面測(cè)試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號(hào)，退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。 ：開(kāi)機(jī)，選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡，找到待測(cè)零件表面干涉條紋，輸入零件號(hào)等相關(guān)信息，設(shè)定長(zhǎng)度
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