zygo干涉儀使用說明-免費(fèi)閱讀
【正文】 最值得欣賞的風(fēng)景，是自己奮斗的足跡。去除手動(dòng)掩膜在mask 窗口中選擇pick 然后選中需要去除的掩膜，點(diǎn)擊delete 按鈕來刪除。點(diǎn)擊analysis control 按鈕，在彈出的窗口中選擇 auto aperture ON，在下面的inside 欄中輸入有效百分比，outside 欄中輸入中心需要去除的部分。調(diào)整前后將細(xì)線縮小成點(diǎn)，并調(diào)整到十字線中間。凸面靠近，凹面遠(yuǎn)離干涉儀主機(jī)尋找表面像，緊盯剛才找到的貓眼條紋，它會(huì)漸漸變小然后又慢慢變大，再次變大的條紋就是零件的表面像，微調(diào)六維調(diào)整架將條紋調(diào)到3 根。按下控制盒上align/view 切換到align 模式，將光點(diǎn)作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼7/8調(diào)到十字線的中心。7 細(xì)節(jié)說明和結(jié)語 安全要求 測量過程中，注意對透鏡的防護(hù)，尤其是表面和邊角容易損壞的部位。，在彈出的對話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。點(diǎn)擊Define，定義待測區(qū)域。測試完畢后關(guān)閉平行度測試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號(hào)，退回到ZYGO主測試操作桌面。 Data按鈕（如圖三、四所示）, 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇square）。如果沒有，關(guān)閉當(dāng)前的窗口，待其縮小為按鈕后，在應(yīng)用選擇窗口中點(diǎn)擊相應(yīng)的應(yīng)用?？梢愿鶕?jù)需要設(shè)定有效區(qū)域的形狀、大小、位置， 也可以從有效區(qū)域中挖去一部分不需要的。 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切換的2 個(gè)模式之一。4 Zygo干涉儀的定義 應(yīng)用（application）應(yīng)用是ZYGO 干涉儀中一系列功能的組合，保存為后綴名為“*.app”的文件。2范圍 本文件涉及用ZYGO 干涉儀檢測平面元件的一般方法。 鏡片像從標(biāo)準(zhǔn)鏡出射的光在整個(gè)零件表面被原路反射回來與標(biāo)準(zhǔn)面的反射光發(fā)生干涉產(chǎn)生的干涉圖形。 長度基準(zhǔn)設(shè)定圖像的長度基準(zhǔn)，因?yàn)榉糯舐什煌蛘咔舛炔煌?，同樣大小的干涉圖所代表的零件大小可能有很大的差異。 定期對設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。） Controls 對話框中的 Refractive index, 錄入待測晶體的折射率（，如圖二），按回車鍵確定。再點(diǎn)擊Ref，選擇Fill，添加最后標(biāo)定的參考區(qū)域，點(diǎn)擊Pick，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊待測晶體區(qū)域邊框，選擇Unfill，去除晶體待測區(qū)域，點(diǎn)擊Define，定義Ref（參考區(qū)域）。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。扭動(dòng)參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的
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