zygo干涉儀使用說明(完整版)
【正文】 像顯示會(huì)進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。6 操作主要內(nèi)容.依次開啟ZYGO顯示器電源，機(jī)箱控制面板上電源按鈕：MASTER、MONITOR、AUXAUX2，以及干涉儀主機(jī)箱右側(cè)下方POWER。設(shè)定長度基準(zhǔn)的目的就是告訴干涉儀圖形中的一段長度相當(dāng)于鏡片中長度的多少，方便控制測量區(qū)域和設(shè)定掩膜。包含待測零件的表面或波前信息，是面形檢測的主要信息來源。 3 錄取數(shù)據(jù) 在檢驗(yàn)過程中將會(huì)生成以下記錄： （保存文件名為*.Tif），在實(shí)時(shí)窗口上點(diǎn)擊FILESAVE保存。（保存文件名為*.Dat），測試完成后點(diǎn)擊SAVE DATE保存。 升降臺(tái)可以升降的平臺(tái)，帶有小傾角調(diào)節(jié)功能，一般用于放置平面元件。 掩膜（mask）表明干涉圖中有效區(qū)域的工具。進(jìn)入Windows 后， （如圖一）操作軟件，運(yùn)行程序，進(jìn)入ZYGO測試操作桌面。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。當(dāng)監(jiān)視器中左下角出現(xiàn)Wedge sec（）時(shí)， 即為晶體的平行度。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。，通過觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂直于測試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見）。測試完畢后關(guān)閉波面測試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號，退回到ZYGO主測試操作桌面。 安裝：將標(biāo)準(zhǔn)鏡的兩個(gè)插銷對準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)鏡安裝支架上的卡口插入，旋轉(zhuǎn)，安裝到位，旋轉(zhuǎn)鎖死螺釘固定好。調(diào)整六位調(diào)整架，使零件上下移動(dòng)把條紋調(diào)到充滿整個(gè)視場，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡的位置，使得條紋對稱。將待測柱面母線按與CGH 平行的方向放置到調(diào)整架上，移動(dòng)調(diào)整架至CGH 焦點(diǎn)處，微調(diào)待測柱面的左右偏轉(zhuǎn)，在電腦屏幕中看到有一個(gè)現(xiàn)狀亮斑，微微旋轉(zhuǎn)柱面的母線方向，使得母線方向與CGH 的母線方向完全一致，此時(shí)屏幕中看到一條細(xì)亮的豎線。 取掩膜 自動(dòng)掩膜：測量圓形（球形）零件的時(shí)候，可以使用自動(dòng)掩膜功能，按一定的百分比選取有效測量區(qū)域。 掩膜去除：去除自動(dòng)掩膜在analysis control 窗口中將 auto aperture 欄中的ON 改成OFF 即可。什么時(shí)候離光明最近？那就是你覺得黑暗太黑的時(shí)候。點(diǎn)擊clear 按鈕則所有掩膜都被清除。 手動(dòng)掩膜：手動(dòng)掩膜適用于非圓形零件或者有特殊需求的情況。切換到view 模式，再次微調(diào)柱面的旋轉(zhuǎn)和角度將條紋調(diào)正，微調(diào)前后將條紋在弧面方向調(diào)直。在整個(gè)尋找過程中，光點(diǎn)可能會(huì)移動(dòng)，通過調(diào)整來保持光點(diǎn)始終在屏幕中心。 尋找干涉條紋 平面：將待測面正對干涉儀主機(jī)放置到升降臺(tái)上，如果是楔角較小的平片或者直角棱鏡之類的可能需要把背面事先涂上凡士林來消除雜光影響。 標(biāo)準(zhǔn)鏡使用時(shí)要插入到位，螺絲擰緊。使用
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1