zygo干涉儀使用說(shuō)明(已修改)
2025-04-19 07:25 本頁(yè)面
【正文】 . . . .作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼1/81目的 為了使員工正確熟悉的使用ZYGO干涉儀。本文詳細(xì)說(shuō)明了如何使用ZYGO 干涉儀來(lái)測(cè)試晶體的平行度、波前、平面度等指標(biāo)。2范圍 本文件涉及用ZYGO 干涉儀檢測(cè)平面元件的一般方法。 3 錄取數(shù)據(jù) 在檢驗(yàn)過程中將會(huì)生成以下記錄： （保存文件名為*.Tif），在實(shí)時(shí)窗口上點(diǎn)擊FILESAVE保存。（保存文件名為*.Dat），測(cè)試完成后點(diǎn)擊SAVE DATE保存。4 Zygo干涉儀的定義 應(yīng)用（application）應(yīng)用是ZYGO 干涉儀中一系列功能的組合，保存為后綴名為“*.app”的文件。不同的應(yīng)用用于不同項(xiàng)目的測(cè)量。 用于一般的平面和球面的測(cè)量， 用于柱面面形的測(cè)量。 貓眼像（cateye）又稱為標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。標(biāo)準(zhǔn)鏡的出射光在焦點(diǎn)處被返回時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋，是透過干涉儀的光線與和它對(duì)稱的標(biāo)準(zhǔn)面之間的干涉圖形。 鏡片像從標(biāo)準(zhǔn)鏡出射的光在整個(gè)零件表面被原路反射回來(lái)與標(biāo)準(zhǔn)面的反射光發(fā)生干涉產(chǎn)生的干涉圖形。包含待測(cè)零件的表面或波前信息，是面形檢測(cè)的主要信息來(lái)源。 升降臺(tái)可以升降的平臺(tái)，帶有小傾角調(diào)節(jié)功能，一般用于放置平面元件。 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切換的2 個(gè)模式之一。align模式可以看到一個(gè)黑色固定的十字線和反射回干涉儀的光點(diǎn)，一般用于零件對(duì)準(zhǔn)，特點(diǎn)是視場(chǎng)較大。View 模式是按下控制盒上的align/view 切換的2 個(gè)模式之一，可以看到干涉條紋，特點(diǎn)是放大率較高， 但是視場(chǎng)較小。一般在align界面對(duì)準(zhǔn)后在view界面觀察條紋。 作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼2/8 標(biāo)準(zhǔn)鏡干涉儀上使用的參考表面，用于生成理想的平面、球面波，作為測(cè)量基準(zhǔn)。 長(zhǎng)度基準(zhǔn)設(shè)定圖像的長(zhǎng)度基準(zhǔn)，因?yàn)榉糯舐什煌蛘咔舛炔煌?，同樣大小的干涉圖所代表的零件大小可能有很大的差異。設(shè)定長(zhǎng)度基準(zhǔn)的目的就是告訴干涉儀圖形中的一段長(zhǎng)度相當(dāng)于鏡片中長(zhǎng)度的多少，方便控制測(cè)量區(qū)域和設(shè)定掩膜。 掩膜（mask）表明干涉圖中有效區(qū)域的工具?？梢愿鶕?jù)需要設(shè)定有效區(qū)域的形狀、大小、位置， 也可以從有效區(qū)域中挖去一部分不需要的。5 職責(zé) 主要包括以下幾個(gè)方面： zygo干涉儀使用和維護(hù)部門為品管部。品管部經(jīng)理負(fù)責(zé)保證過程實(shí)施所需的培訓(xùn)及資源。 按照校準(zhǔn)計(jì)劃對(duì)設(shè)備定期檢定。 指定的儀器使用者需保證使用過程按按照操作
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1