zygo干涉儀使用說(shuō)明-全文預(yù)覽
【正文】 反射回的作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼6/8最亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。，系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼5/8 平面度測(cè)試 調(diào)整監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。再點(diǎn)擊Ref，選擇Fill，添加最后標(biāo)定的參考區(qū)域，點(diǎn)擊Pick，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊待測(cè)晶體區(qū)域邊框，選擇Unfill，去除晶體待測(cè)區(qū)域，點(diǎn)擊Define，定義Ref（參考區(qū)域）。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。） Controls 對(duì)話框中的 Refractive index, 錄入待測(cè)晶體的折射率（，如圖二），按回車(chē)鍵確定。 圖一作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼3/8主要測(cè)試步驟如下：（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。5 職責(zé) 主要包括以下幾個(gè)方面： zygo干涉儀使用和維護(hù)部門(mén)為品管部。 長(zhǎng)度基準(zhǔn)設(shè)定圖像的長(zhǎng)度基準(zhǔn)，因?yàn)榉糯舐什煌蛘咔舛炔煌?，同樣大小的干涉圖所代表的零件大小可能有很大的差異。align模式可以看到一個(gè)黑色固定的十字線和反射回干涉儀的光點(diǎn)，一般用于零件對(duì)準(zhǔn)，特點(diǎn)是視場(chǎng)較大。 鏡片像從標(biāo)準(zhǔn)鏡出射的光在整個(gè)零件表面被原路反射回來(lái)與標(biāo)準(zhǔn)面的反射光發(fā)生干涉產(chǎn)生的干涉圖形。不同的應(yīng)用用于不同項(xiàng)目的測(cè)量。2范圍 本文件涉及用ZYGO 干涉儀檢測(cè)平面元件的一般方法。本文詳細(xì)說(shuō)明了如何使用ZYGO 干涉儀來(lái)測(cè)試晶體的平行度、波前、平面度等指標(biāo)。4 Zygo干涉儀的定義 應(yīng)用（application）應(yīng)用是ZYGO 干涉儀中一系列功能的組合，保存為后綴名為“*.app”的文件。標(biāo)準(zhǔn)鏡的出射光在焦點(diǎn)處被返回時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋，是透過(guò)干涉儀的光線與和它對(duì)稱(chēng)的標(biāo)準(zhǔn)面之間的干涉圖形。 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切換的2 個(gè)模式之一。 作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼2/8 標(biāo)準(zhǔn)鏡干涉儀上使用的參考表面，用于生成理想的平面、球面波，作為測(cè)量基準(zhǔn)?？梢愿鶕?jù)需要設(shè)定有效區(qū)域的形狀、大小、位置， 也可以從有效區(qū)域中挖去一部分不需要的。 指定的儀器使用者需保證使用過(guò)程按按照操作規(guī)程操作儀器。如果沒(méi)有，關(guān)閉當(dāng)前的窗口，待其縮小為按鈕后，在應(yīng)用選
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