zygo干涉儀使用說(shuō)明(文件)
【正文】 基準(zhǔn)，取掩膜，測(cè)量，結(jié)果保存和打印。 安裝：將標(biāo)準(zhǔn)鏡的兩個(gè)插銷(xiāo)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)鏡安裝支架上的卡口插入，旋轉(zhuǎn)，安裝到位，旋轉(zhuǎn)鎖死螺釘固定好。再次按下align/view 按鈕切換到view 模式，微調(diào)零件或者標(biāo)準(zhǔn)鏡的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)，將條紋調(diào)到3 根左右。調(diào)整六位調(diào)整架，使零件上下移動(dòng)把條紋調(diào)到充滿(mǎn)整個(gè)視場(chǎng)，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡的位置，使得條紋對(duì)稱(chēng)。注意：整個(gè)回歸貓眼的過(guò)程中不可觸碰任何調(diào)整旋鈕。將待測(cè)柱面母線(xiàn)按與CGH 平行的方向放置到調(diào)整架上，移動(dòng)調(diào)整架至CGH 焦點(diǎn)處，微調(diào)待測(cè)柱面的左右偏轉(zhuǎn)，在電腦屏幕中看到有一個(gè)現(xiàn)狀亮斑，微微旋轉(zhuǎn)柱面的母線(xiàn)方向，使得母線(xiàn)方向與CGH 的母線(xiàn)方向完全一致，此時(shí)屏幕中看到一條細(xì)亮的豎線(xiàn)。 作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼8/8 如果測(cè)量的是球面還需要在ISO10110 窗口中輸入曲率半徑標(biāo)稱(chēng)值、實(shí)測(cè)值、測(cè)試波長(zhǎng)、零件有效口徑。 取掩膜 自動(dòng)掩膜：測(cè)量圓形（球形）零件的時(shí)候，可以使用自動(dòng)掩膜功能，按一定的百分比選取有效測(cè)量區(qū)域。完成后點(diǎn)擊BG INC 按鈕來(lái)確認(rèn)。 掩膜去除：去除自動(dòng)掩膜在analysis control 窗口中將 auto aperture 欄中的ON 改成OFF 即可。歡迎您的光臨，！希望您提出您寶貴的意見(jiàn)，你的意見(jiàn)是我進(jìn)步的動(dòng)力。什么時(shí)候離光明最近？那就是你覺(jué)得黑暗太黑的時(shí)候。學(xué)習(xí)參考。我不知道年少輕狂，我只知道勝者為王。點(diǎn)擊clear 按鈕則所有掩膜都被清除。完成后點(diǎn)擊BG INC 按鈕來(lái)確認(rèn)。 手動(dòng)掩膜：手動(dòng)掩膜適用于非圓形零件或者有特殊需求的情況。一般平面可以以零件邊緣或者標(biāo)準(zhǔn)鏡邊緣為基準(zhǔn)，球面可以以干涉圖形的邊緣作為基準(zhǔn)。切換到view 模式，再次微調(diào)柱面的旋轉(zhuǎn)和角度將條紋調(diào)正，微調(diào)前后將條紋在弧面方向調(diào)直。使用時(shí)，切換到align 模式，將CGH 的平面對(duì)準(zhǔn)干涉儀，調(diào)整左右旋轉(zhuǎn)，把第3 個(gè)光點(diǎn)調(diào)到十字線(xiàn)中心。在整個(gè)尋找過(guò)程中，光點(diǎn)可能會(huì)移動(dòng)，通過(guò)調(diào)整來(lái)保持光點(diǎn)始終在屏幕中心。切換到view 界面，沿導(dǎo)軌前后移動(dòng)調(diào)整架至干涉儀的出射光聚焦到零件表面（可用一張小紙條貼于零件表面觀察）。 尋找干涉條紋 平面：將待測(cè)面正對(duì)干涉儀主機(jī)放置到升降臺(tái)上，如果是楔角較小的平片或者直角棱鏡之類(lèi)的可能需要把背面事先涂上凡士林來(lái)消除雜光影響。 選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡 選擇：平面和柱面選擇平面標(biāo)準(zhǔn)鏡TF，球面選擇球面標(biāo)準(zhǔn)鏡。 標(biāo)準(zhǔn)鏡使用時(shí)要插入到位，螺絲擰緊。，系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話(huà)框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。扭動(dòng)參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡
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