相位調(diào)制納米激光干涉儀研制開題報(bào)告(編輯修改稿)
2025-02-17 16:58 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 物理技術(shù)研究院（PTB）等等。 國內(nèi)：清華大學(xué)、中國計(jì)量科學(xué)研究院、北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室等等都獲得了納米或者亞納米的測量精度。1三．課題研究的主要內(nèi)容及擬解決的問題和預(yù)期效果：主要內(nèi)容：系統(tǒng)的框圖如圖1所示，相位調(diào)制納米激光干涉儀，包括光路部分和信號(hào)處理部分。信號(hào)處理部分又包括信號(hào)發(fā)生器和信號(hào)解調(diào)部分。信號(hào)發(fā)生器的主要作用是控制驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器（PZT）的運(yùn)動(dòng)。圖1 系統(tǒng)框圖擬解決問題：1. 光路部分的設(shè)計(jì)；2. 信號(hào)處理部分信號(hào)發(fā)生器的驅(qū)動(dòng)電路程序設(shè)計(jì)；3. 光電轉(zhuǎn)換電路的設(shè)計(jì)和發(fā)生裝置對(duì)調(diào)制信號(hào)檢測及處理電路的測試與驗(yàn)證；4. 基于Labview的軟件解調(diào)信號(hào)方法及信號(hào)處理。預(yù)期效果：1. 構(gòu)建相位調(diào)制納米激光干涉儀精密位移測量系統(tǒng)；2. 各模塊正常工作；3. 最后的信號(hào)可實(shí)現(xiàn)對(duì)位移的準(zhǔn)確測量；4. 系統(tǒng)達(dá)到結(jié)構(gòu)簡便、測量快速、精度高的要求。2四．實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案及所需要的主要設(shè)備、儀器、材料（名稱、規(guī)格型號(hào)）及其數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)大綱另訂）。設(shè)計(jì)方案：光通過光路部分檢測到四路信號(hào)，四路信號(hào)通過光電轉(zhuǎn)換電路然后再將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，得出的數(shù)據(jù)即可以分析出運(yùn)動(dòng)光臂的位移和方向。光路部分如圖2所示。 LS：HENE激光器 PBS1：偏振分光陵鏡1 PBS2：偏振分光陵鏡2 PBS3：偏振分光陵鏡3 PBS4：偏振分光陵鏡4 M1：反射鏡1 M2：反射鏡2 Q1：1/4波片1 Q2：1/4波片2 Q3：1/4波片3 Q4：1/4波片4 PZT：壓電陶瓷促動(dòng)器 PD1：光電探測器1 PD2：光電探測器2 PD3：光電
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