zygo干涉儀使用說(shuō)明-在線瀏覽
2025-05-25 07:25本頁(yè)面
【正文】 窗口中點(diǎn)擊相應(yīng)的應(yīng)用。扭動(dòng)參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的最亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。，通過(guò)觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂直于測(cè)試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見(jiàn)。圖二，在彈出的對(duì)話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對(duì)話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。 Data按鈕（如圖三、四所示）, 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對(duì)話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇square）。并在動(dòng)態(tài)圖像上方無(wú)晶體的空間內(nèi)，選擇與待測(cè)晶體規(guī)格相近的區(qū)域，此區(qū)域?qū)⒆鳛閰⒖紖^(qū)域。之后點(diǎn)擊Test，選擇Unfill，去除最后標(biāo)定的參考區(qū)域，圖四點(diǎn)擊Define，定義Test（晶體測(cè)試區(qū)域）。，系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。測(cè)試完畢后關(guān)閉平行度測(cè)試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號(hào)，退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。移除標(biāo)準(zhǔn)參考反射鏡面，將晶體放置到樣品支架上，調(diào)整晶體方向，使其反射回的光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。 （如圖五所示），在彈出的對(duì)話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對(duì)話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。 Data按鈕（如圖五所示）, 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對(duì)話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇square）。點(diǎn)擊Define，定義待測(cè)區(qū)域。當(dāng)監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時(shí)（如圖六所示）。圖五 圖六 波前畸變測(cè)試主要測(cè)試步驟如下：（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。完成后,按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。，在彈出的對(duì)話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕,對(duì)話框中圖像顯示會(huì)進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。 點(diǎn)擊測(cè)試界面中左上角Mask Data按鈕, 在彈出的有動(dòng)態(tài)圖像的對(duì)話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇square）。點(diǎn)擊Define，定義待測(cè)區(qū)域。當(dāng)監(jiān)視器中左上角出現(xiàn)PV Wave（）時(shí)，（如圖五所示）。7 細(xì)節(jié)說(shuō)明和結(jié)語(yǔ) 安全要求 測(cè)量過(guò)程中，注意對(duì)透鏡的防護(hù)，尤其是表面和邊角容易損壞的部位。不用時(shí)要擺放到盒子中避免意外損壞。不同的零件在找干涉條紋和一些設(shè)定方面有所區(qū)別，但是基本步驟差不多。球面標(biāo)準(zhǔn)鏡在選擇的時(shí)候要考慮鏡片的曲率半徑和口徑，參照J(rèn)ENfizar 的標(biāo)準(zhǔn)鏡選擇。按下控制盒上align/view 切換到align 模式，將光點(diǎn)作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼7/8調(diào)到十字線的中心。按下控制盒上的align/
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