超精密加工技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-13 19:50 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 由于電解修銳連續(xù)進(jìn)行 ， 砂輪在整個(gè)磨削過(guò)程保持同一鋒利狀態(tài) 。 一、 精密與超精密加工技術(shù) ?砂帶：帶基材料為聚碳酸脂薄膜 ，其上植有細(xì)微砂粒 。 ?砂帶在一定工作壓力下與工件接觸并作相對(duì)運(yùn)動(dòng) ， 進(jìn)行磨削或拋光 。 ?有開(kāi)式 （ 圖 9） 和閉式兩種形式 ， 可磨削平面 、 內(nèi)外圓表面 、 曲面等 （ 圖11） 。 接觸輪 硬磁盤(pán) — 裝在主軸真空吸盤(pán)上 圖 9 砂帶磨削示意圖 V砂帶 砂帶輪 卷帶輪 F徑向進(jìn)給 f徑向振動(dòng) ◆ 精密與超精密 砂帶磨削 一、 精密與超精密加工技術(shù) 圖 10 用于磨削管件的 砂帶磨床（ 帶有行星系統(tǒng)） 一、 精密與超精密加工技術(shù) ? 幾種常見(jiàn)砂帶磨削方式 （圖 11） 圖 11 幾種砂帶磨削形式 a）砂帶無(wú)心外圓磨削（導(dǎo)輪式） 工件 導(dǎo)輪 接觸輪 主動(dòng)輪 砂帶 工件 接觸輪 主動(dòng)輪 砂帶 b）砂帶定心外圓磨削（接觸輪式） c）砂帶定心外圓磨削（接觸輪式） 工件 接觸輪 主動(dòng)輪 砂帶 接觸輪 砂帶 工件 d）砂帶內(nèi)圓磨削（回轉(zhuǎn)式） 工件 支承板 主動(dòng)輪 砂帶 工作臺(tái) e）砂帶平面磨削（支承板式） f）砂帶平面磨削 （支承輪式） 支承輪 工件 砂帶 接觸輪 一、 精密與超精密加工技術(shù) ? 砂帶磨削 特點(diǎn) 1） 砂帶與工件柔性接觸 ， 磨粒載荷小 ， 且均勻 ， 工件受力 、 熱作用小 ， 加工質(zhì)量好 （ Ra 值可達(dá) ） 。 3）強(qiáng)力砂帶磨削，磨削比（切除工件重量與砂輪磨耗重量之比）高，有“高效磨削”之稱(chēng)。 4）制作簡(jiǎn)單，價(jià)格低廉，使用方便。 5）可用于內(nèi)外表面及成形表面加工。 磨粒 規(guī)格涂層 粘接劑 基帶 圖 12 靜電植砂砂帶結(jié)構(gòu) 2） 靜電植砂 ， 磨粒有方向性 ， 尖端向上 （ 圖 12） ， 摩擦生熱小 ， 磨屑不易堵塞砂輪 ， 磨削性能好 。 一、 精密與超精密加工技術(shù) 工件 小間隙 加壓 拋光輪 懸浮液 微粉 (磨粒 ) 圖 13 彈性發(fā)射加工原理 拋光輪與工件表面形成小間隙 ， 中間置拋光液 ， 靠拋光輪高速回轉(zhuǎn)造成磨料的 “ 彈性發(fā)射 ” 進(jìn)行加工 。 ? 工作原理（圖 13） ? 機(jī)理：微切削＋被加工材料的微塑性流動(dòng)作用 ★ 彈性發(fā)射加工 ◆ 游離磨料加工 ? 拋光輪： 由聚氨基甲酸 （ 乙 ）酯制成 ， 磨料直徑 ～ 一、 精密與超精密加工技術(shù) ? 工作原理 （ 圖 14） 拋光工具上開(kāi)有鋸齒槽 ，靠楔形擠壓和拋光液的反彈 ， 增加微切削作用 。 ? 機(jī)理：微切削作用 。 拋光工具 圖 14 液體動(dòng)力拋光 小間隙 工件 工具運(yùn)動(dòng)方向 拋光液 磨粒 ? 工作原理 （ 圖 15） 活性?huà)伖庖汉湍チＥc工件表面產(chǎn)生固相反應(yīng) ， 形成軟粒子 ， 使其便于加工 。 ? 機(jī)理：機(jī)械 +化學(xué)作用 ，稱(chēng)為 “ 增壓活化 ” 。 ★ 液體動(dòng)力拋光 ★ 機(jī)械化學(xué)拋光 拋光工具 活性 拋光液 圖 15 機(jī)械化學(xué)拋光 小間隙 工件 工具運(yùn)動(dòng)方向 加壓 一、 精密與超精密加工技術(shù) ? 激光由于其優(yōu)良的特性 （ 強(qiáng)度高 ， 亮度大 ， 單色性 、 相干性 、 方向性好等 ） 在精密測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用 。 ? 可以測(cè)量長(zhǎng)度 ， 小角度 ， 直線(xiàn)度 ， 平面度 ， 垂直度等； 也可以測(cè)量位移 ， 速度 ， 振動(dòng) ， 微觀表面形貌等； 還可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量 ， 在線(xiàn)測(cè)量 ， 并易于實(shí)現(xiàn)測(cè)量自動(dòng)化 。 ? 激光測(cè)量精度目前可達(dá) 。 ? 激光測(cè)量 一、 精密與超精密加工技術(shù) 受射透鏡 平行光管透鏡 邊緣傳感 閘門(mén)電路 計(jì)數(shù)器 顯示圖 震蕩器 伺服系統(tǒng) 掃描鏡 工件 測(cè)定區(qū) 光檢測(cè)器 激光發(fā)生器 ★ 采用平行光管透鏡將激光準(zhǔn)確地調(diào)整到多角形旋轉(zhuǎn)掃描鏡上聚焦。通過(guò)激光掃描被測(cè)工件兩端，根據(jù)掃描鏡旋轉(zhuǎn)角、掃描鏡旋轉(zhuǎn)速度，透鏡焦距等數(shù)據(jù)計(jì)算出被測(cè)工件的尺寸。 圖 16 激光掃描尺寸計(jì)量系統(tǒng) ? 激光高速掃描尺寸計(jì)量系統(tǒng)（圖 16） 一、 精密與超精密加工技術(shù) 圖 18 雙頻激光測(cè)量系統(tǒng) 一、 精密與超精密加工技術(shù) ◆ 恒溫 —— 要求 ： 177。 1℃ ～ 177。 ℃ 實(shí)現(xiàn)方法 ：大 、 小恒溫間 +局部恒溫 （ 恒溫罩 ，恒溫油噴淋 ） ◆ 恒濕 —— 要求 ：相對(duì)濕度 35%～ 45%， 波動(dòng) 177。 10%～ 177。 1% 實(shí)現(xiàn)方法 ：采用空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng) ◆ 凈化 —— 要求 ： 10000～ 100級(jí) （ 100級(jí)系指每立方英尺空氣中所含大于 100） 實(shí)現(xiàn)方法 ：采用空氣過(guò)濾器 ， 送入潔凈空氣 ◆ 隔振 —— 要求 ：消除內(nèi)部 、 隔絕外部振動(dòng)干擾 實(shí)現(xiàn)方法 ：隔振地基 ， 隔振墊層 ， 空氣彈簧隔振器 ? 精密與超精密加工環(huán)境 一、 精密與超精密加工技術(shù) ? 微細(xì)加工 —— 通常指 1mm以下微細(xì)尺寸零件的加工 ，其加工誤差為 ～ 10μm 。 ? 超微細(xì)加工 —— 通常指 1μm以下超微細(xì)尺寸零件的加工 ， 其加工誤差為 ～ 。 ? 精度表示方法 —— 一般尺寸加工 ， 其精度用誤差尺寸與加工尺寸比值表示；微細(xì)加工 ， 其
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