電鏡第二期理論知識(shí)培訓(xùn)(編輯修改稿)
2025-02-09 04:18 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 電子束直徑越小，成像單元尺寸越小，分辨率越高 。 2/10/2022 掃描線圈 Scanning coils ?掃描線圈作用 使電子束偏轉(zhuǎn)，并在樣品表面作有規(guī)則的掃動(dòng)。 ? 掃描方式 ? 光柵掃描 （相貌分析） ? 角光柵掃描（電子通道花樣分析） 光柵掃描 角光柵掃描 物鏡 入射電子束 入射電子束 2/10/2022 樣品室 Sample chamber ? 主要功能： ? 放置樣品 ? 安置信號(hào)探測(cè)器 2/10/2022 信號(hào)的收集和圖象顯示系統(tǒng) 二次電子和背散射電子 進(jìn)入閃爍體，引起電離 離子和自由電子復(fù)合形成可見(jiàn)光 光信號(hào)放大，轉(zhuǎn)換電流信號(hào)，視頻放大成為調(diào)制信號(hào) 2/10/2022 真空系統(tǒng) Vacuum ? 保持光學(xué)系統(tǒng) 正常工作； ? 防止樣品污染 ? 真空度 ?102 ?103Pa 2/10/2022 （ 1）． 放大倍數(shù) 熒光屏上的掃描振幅 電子束在樣品上的掃描振幅 放大倍數(shù)與掃描面積的關(guān)系： (若熒光屏畫(huà)面面積為 10 10cm2) 放大倍數(shù) 掃描面積 10 (1cm)2 100 (1mm)2 1,000 (100μ m)2 10,000 (10μ m)2 100,000 (1μ m)2 AcAsK＝三 . SEM的主要性能指標(biāo) 2/10/2022 25 （ 2）分辨率 ： 樣品上可以分辨的兩個(gè)鄰近的質(zhì)點(diǎn)或線條間的距離。 如何測(cè)量：拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。 影響 SEM圖像分辨率的主要因素有： ①掃描電子束斑直徑 ； ②入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)； ③操作方式及其所用的調(diào)制信號(hào)； ④信號(hào)噪音比； ⑤雜散磁場(chǎng)； ⑥機(jī)械振動(dòng)將引起束斑漂流等，使分辨率下降。 二次電子像的分辨率約為 510nm，背反射電子像的分辨率約為 502
環(huán)評(píng)公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1