機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計第十章copy(編輯修改稿)
2025-02-03 15:37 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 械已不再適用 。 4. 微機(jī)電系統(tǒng)的基本特征 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微馬達(dá) 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微齒輪 微流量計活動微齒輪， Ni光刻而成，齒輪半徑 200um，高 230um 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 — 日本 Denso公司研制的微型汽車 第十章 微系統(tǒng)簡介 微型軸承 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微軸承 彈簧，厚 3um，間隙 34um 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微彈簧 微齒輪 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微齒輪組 由 4um厚的多晶硅加工而成，細(xì)梁寬 ，長 283um 第十章 微系統(tǒng)簡介 5 微系統(tǒng)的實(shí)例 —— 微平行四邊形 微系統(tǒng) 信號處理 傳感器 致動器 外部接口 微系統(tǒng)一般由傳感器模塊（ 微傳感器 ）、執(zhí)行元件模塊（ 微致動器 ）、信號處理模塊（處理單元）和外部接口模塊構(gòu)成。 二、微系統(tǒng)的組成與應(yīng)用 第十章 微系統(tǒng)簡介 微傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。 1. 微傳感器 第十章 微系統(tǒng)簡介 將由微傳感器輸出的電、光或熱信號 /信號處理單元的信號轉(zhuǎn)換為力、轉(zhuǎn)矩、位移和相位等物理參數(shù)輸出。 第十章 微系統(tǒng)簡介 工作原理是將其他能量（一般是電能）轉(zhuǎn)換為機(jī)械能。實(shí)現(xiàn)這一轉(zhuǎn)換的執(zhí)行機(jī)制有： 靜電力 驅(qū)動、電磁力 驅(qū)動、 壓電力 驅(qū)動、 熱膨脹力 驅(qū)動、 磁致伸縮 式驅(qū)動、 氣動 、 電液 致動、 凝膠 致動、 光 致動、超聲波 致動、 氣泡 驅(qū)動以及 形狀記憶合金膜片 驅(qū)動等。 微致動器的類型、特點(diǎn) 第十章 微系統(tǒng)簡介 靜電致動原理 靜電致動是一種使電能轉(zhuǎn)換成機(jī)械能（變形能、動能）的方法。靜電致動，可以看成是兩塊帶有相反電荷的平行板相互吸引、產(chǎn)生變形而致動。在估算這種微執(zhí)行器產(chǎn)生的力時，往往需要忽略靜電力與施加電壓之間的非線性關(guān)系。 第十章 微系統(tǒng)簡介 壓電致動原理 利
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