無塵室管理要點(編輯修改稿)
2024-10-15 13:22 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 物品表面之清淨度為要。 如上述物品沒有達到規(guī)定之清淨度，必須附備清淨裝置，因此視其需要 ，要裝有清淨裝置之 AIR LOCK。 原則上 AIR LOCK 內(nèi)不可放置任何物品。定期按照規(guī)定之方法做地面 、 壁 、 門 、天 花板之清潔工作。並依照（無塵室內(nèi)之監(jiān)視方法）之規(guī)定定期測試室內(nèi)壓力及清淨度。確認有無維持規(guī)定之條件。 對無塵室之器材搬入與搬出 一般而言應遵守下列 5項原則： 、 備品 、 工具 、 設備應維持在最小限度，並要完全清潔後始可搬入。 ，然要搬入前應先清潔容器外表。或用雙重包裝時搬入前提時）先取開外層包裝後再搬入也可以 。 ，故盡量利用傳遞箱（ PASS BOX）或預備室（ AIR LOCK ROOM）。 ，為避免影響到無塵室內(nèi)之氣流狀態(tài)及清淨，盡量利用預備室（ AIR LOCK ROOM），並避免在作業(yè)中搬入上述大型器材。 ，等要搬出無塵室時，須經(jīng)過傳遞箱（ PASS BOX），以防止外面空氣之侵入，及門之開閉時產(chǎn)生之室內(nèi)氣流之流失與發(fā)塵至最小限度。 搬器材進入無塵室之清潔方法 種類，物品之形狀 、 構(gòu)造 、 材料 、 所要求之清淨度而由專業(yè)人員決定。 （ a） 搬大型物品進入無塵室時事先在一般環(huán)境之污染區(qū)域以壓縮空氣或普通真空吸塵器做初次清潔，然後在次清淨室使用無塵室內(nèi)專用真空吸塵器或以擦拭方法施以必要之清潔。 8 （ b） 無塵室內(nèi)用之所有小物品應遵照專業(yè)人員指示在次清淨室內(nèi)依照計劃之時間，以擦拭 、 或超音波洗滌方法完全清潔後放入經(jīng)清潔之搬運箱搬入。 ，則在無塵室內(nèi)裝設清潔用設備，並對此設備施以局部排氣以免污染室內(nèi)。 無塵室至監(jiān)（ MONITORING IN CLEAN ROOM） 氣流 （ AIR FLOW PATTERN）是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。 （ TUFT METHOD）法。 。 ，每年最少做 1次並記錄結(jié)果。 ，檢討並判斷現(xiàn)狀是否符會設計條件。 風速 （ AIRFLOW PATTERN）是否符合規(guī) 定。 JIS T8203（攜帶用熱式風速計）規(guī)定或同等品。 。 HEPA FILTER 之代表點之外，應在專業(yè)人員決定之位置及高度施行，而每個月 1次以上之頻度行之並做記錄。 ，並檢討現(xiàn)狀是否符合設計要求。 風量 ，由風速測試結(jié)果計算之。 （ 2）之規(guī)定。 。 ，但也可以在各 HEPA FILTER 之代表點測 9 試。測試方方法 、 測試須度，由該專業(yè)人員決定並做記錄。 求。 空氣壓 壓，高清淨度室空氣壓應比次清淨度室略高，以免被污染之空氣侵入高清淨度室內(nèi)。 （ ）之壓計或可代替之測試儀器為準。 。 始前及作業(yè)終了後施行並記錄，但必要時要隨時測試並記錄。 ，並檢討現(xiàn)狀是否符會設計條件。 室溫與相對濕度 （ PROCESS）之影響與對作業(yè)人員之舒適性，並是否與設計條件符合。 ，原則上使用 ASSMANN 通風式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式（ SLING PSYCHROMETER）者。 ，並由其人員決定測試之位置與高度。 作業(yè)開始前及作業(yè)終了後施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。 ，須由專業(yè)人員根據(jù) （空氣清淨度之測試須頻度）之規(guī)定測試與記錄。 。 ，為了感知急激之溫度變化，須裝設自動溫度警報裝置。必要時須在適當之位置裝設警報裝置以便空調(diào)系統(tǒng)發(fā)生異常情況時可立即發(fā)出警報。 10 。 空氣清淨度之測試頻度 CLASS 5 以下 5以上 測試頻度 每月 1次 每 3個月 1次 空氣之清淨度 （ PROCESS）甚鉅，故必須按時測試浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規(guī)定。 JIS B9221（光散亂式粒子計數(shù)器）所規(guī)定者或有同等性能之儀器。 ，另者測試對象粒徑也應由該專業(yè)人員決定。 JIS B9920 (無 塵室中浮游微粒子測試方法 )規(guī)定依表 51之頻度施行並做記錄。 （備註）測試時，其空氣體積總量不管是繼 續(xù)或 ?續(xù)須達到 10￣179。M179。，如可預期粒子個數(shù)濃 度將超過 50010179。個／ M 時，在其濃度附近之計數(shù)值範圍內(nèi)可減少測試空氣總體積，但 不可低於 10￣179。M179。 。 ，原則上也應一年做一次查漏試驗。另者 U
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