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正文內(nèi)容

無塵室管理要點(編輯修改稿)

2024-10-15 13:22 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 物品表面之清淨(jìng)度為要。 如上述物品沒有達到規(guī)定之清淨(jìng)度,必須附備清淨(jìng)裝置,因此視其需要 ,要裝有清淨(jìng)裝置之 AIR LOCK。 原則上 AIR LOCK 內(nèi)不可放置任何物品。定期按照規(guī)定之方法做地面 、 壁 、 門 、天 花板之清潔工作。並依照(無塵室內(nèi)之監(jiān)視方法)之規(guī)定定期測試室內(nèi)壓力及清淨(jìng)度。確認有無維持規(guī)定之條件。 對無塵室之器材搬入與搬出 一般而言應(yīng)遵守下列 5項原則: 、 備品 、 工具 、 設(shè)備應(yīng)維持在最小限度,並要完全清潔後始可搬入。 ,然要搬入前應(yīng)先清潔容器外表?;蛴秒p重包裝時搬入前提時)先取開外層包裝後再搬入也可以 。 ,故盡量利用傳遞箱( PASS BOX)或預(yù)備室( AIR LOCK ROOM)。 ,為避免影響到無塵室內(nèi)之氣流狀態(tài)及清淨(jìng),盡量利用預(yù)備室( AIR LOCK ROOM),並避免在作業(yè)中搬入上述大型器材。 ,等要搬出無塵室時,須經(jīng)過傳遞箱( PASS BOX),以防止外面空氣之侵入,及門之開閉時產(chǎn)生之室內(nèi)氣流之流失與發(fā)塵至最小限度。 搬器材進入無塵室之清潔方法 種類,物品之形狀 、 構(gòu)造 、 材料 、 所要求之清淨(jìng)度而由專業(yè)人員決定。 ( a) 搬大型物品進入無塵室時事先在一般環(huán)境之污染區(qū)域以壓縮空氣或普通真空吸塵器做初次清潔,然後在次清淨(jìng)室使用無塵室內(nèi)專用真空吸塵器或以擦拭方法施以必要之清潔。 8 ( b) 無塵室內(nèi)用之所有小物品應(yīng)遵照專業(yè)人員指示在次清淨(jìng)室內(nèi)依照計劃之時間,以擦拭 、 或超音波洗滌方法完全清潔後放入經(jīng)清潔之搬運箱搬入。 ,則在無塵室內(nèi)裝設(shè)清潔用設(shè)備,並對此設(shè)備施以局部排氣以免污染室內(nèi)。 無塵室至監(jiān)( MONITORING IN CLEAN ROOM) 氣流 ( AIR FLOW PATTERN)是否符合設(shè)計之要求,須做氣流測試確認。 ( TUFT METHOD)法。 。 ,每年最少做 1次並記錄結(jié)果。 ,檢討並判斷現(xiàn)狀是否符會設(shè)計條件。 風(fēng)速 ( AIRFLOW PATTERN)是否符合規(guī) 定。 JIS T8203(攜帶用熱式風(fēng)速計)規(guī)定或同等品。 。 HEPA FILTER 之代表點之外,應(yīng)在專業(yè)人員決定之位置及高度施行,而每個月 1次以上之頻度行之並做記錄。 ,並檢討現(xiàn)狀是否符合設(shè)計要求。 風(fēng)量 ,由風(fēng)速測試結(jié)果計算之。 ( 2)之規(guī)定。 。 ,但也可以在各 HEPA FILTER 之代表點測 9 試。測試方方法 、 測試須度,由該專業(yè)人員決定並做記錄。 求。 空氣壓 壓,高清淨(jìng)度室空氣壓應(yīng)比次清淨(jìng)度室略高,以免被污染之空氣侵入高清淨(jìng)度室內(nèi)。 ( )之壓計或可代替之測試儀器為準。 。 始前及作業(yè)終了後施行並記錄,但必要時要隨時測試並記錄。 ,並檢討現(xiàn)狀是否符會設(shè)計條件。 室溫與相對濕度 ( PROCESS)之影響與對作業(yè)人員之舒適性,並是否與設(shè)計條件符合。 ,原則上使用 ASSMANN 通風(fēng)式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式( SLING PSYCHROMETER)者。 ,並由其人員決定測試之位置與高度。 作業(yè)開始前及作業(yè)終了後施行並做記錄,但必要時須隨時測試並做記錄。 ,須由專業(yè)人員根據(jù) (空氣清淨(jìng)度之測試須頻度)之規(guī)定測試與記錄。 。 ,為了感知急激之溫度變化,須裝設(shè)自動溫度警報裝置。必要時須在適當(dāng)之位置裝設(shè)警報裝置以便空調(diào)系統(tǒng)發(fā)生異常情況時可立即發(fā)出警報。 10 。 空氣清淨(jìng)度之測試頻度 CLASS 5 以下 5以上 測試頻度 每月 1次 每 3個月 1次 空氣之清淨(jìng)度 ( PROCESS)甚鉅,故必須按時測試浮游微粒子,濃度以檢查是否符合規(guī)定。 JIS B9221(光散亂式粒子計數(shù)器)所規(guī)定者或有同等性能之儀器。 ,另者測試對象粒徑也應(yīng)由該專業(yè)人員決定。 JIS B9920 (無 塵室中浮游微粒子測試方法 )規(guī)定依表 51之頻度施行並做記錄。 (備註)測試時,其空氣體積總量不管是繼 續(xù)或 ?續(xù)須達到 10 ̄179。M179。,如可預(yù)期粒子個數(shù)濃 度將超過 50010179。個/ M 時,在其濃度附近之計數(shù)值範圍內(nèi)可減少測試空氣總體積,但 不可低於 10 ̄179。M179。 。 ,原則上也應(yīng)一年做一次查漏試驗。另者 U
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