【文章內(nèi)容簡介】 水準下之品質(zhì)水準。 試驗人員 ﹕楊正兵 試驗日期 ﹕ 12/10/03~12/12/03 試驗參數(shù)﹕ 油墨厚度 曝光能量 顯影速度 比重 HCL 含量 蝕刻速度 蝕刻溫度 備注 原設(shè)計值 A1 B1 C1 D1 E1 F1 G1 新設(shè)計值 (最適組合 ) A1 B2 C2 D2 E1 F2 G2 連路油墨 備注﹕在實際實驗時﹐諸如比重﹑ HCL﹑蝕刻溫度等參數(shù)無法固定于某一具體值﹐故實際參數(shù)為一范圍值。 參數(shù) 設(shè)計值 實驗部分 (Experiment Section)(二 ) SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 26 試驗流程﹕ 開料→涂布 (新涂布線 ) →曝光→ DES→兩面 AOI掃描 試驗結(jié)果﹕ 1) 所有不良項目分析﹕ 不良項目 不良數(shù) 不良率 不良項目 不良數(shù) 不良率 短路 2 % 顯影不凈 3 1% 斷線 2 % 殘膠 4 % 殘銅 6 2% 氧化 1 % 缺口 20 % 板材 1 % 總不良率 13% 2) 所有不良項目明細分析﹕ 不良項目 不良原因明細及數(shù)量 不良項目 不良原因明細 短路 2 咬蝕不凈 2 顯影不凈 3 均為板角處趕氣不足 斷線 2 臟點 2 殘膠 4 不明粘狀物 殘銅 6 位置于孔內(nèi)﹐顯影不凈所致 氧化 1 未戴手套接觸板面 缺口 20 臟點 17﹐油墨不均 1﹐撞傷 1﹐板材不良 1 板材 1 板材不良 試驗結(jié)果分析﹕ 在所有不良項中﹐因參數(shù)原因?qū)е轮涣柬椖?及數(shù)量為短路 2pcs﹐殘銅 6pcs﹐油墨不均導致缺口 1pcs﹐不良率為 3%﹐改善前短路﹑殘銅平均總不良率為 %。 確認試驗結(jié)論﹕ 從試驗結(jié)果中﹐得出導致內(nèi)層不良項主要是缺口﹑殘銅﹐前者主要與現(xiàn)場清潔及來料板邊 PP 粉塵有關(guān)﹐后者與涂布均勻性﹑蝕刻均勻性有關(guān)﹐下一步將繼續(xù)采用 DOE 試驗設(shè)計的方法驗證涂布段之均勻性及蝕刻均勻性。上述參數(shù)可導入使用。 楊正兵 12/12/03 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 27 內(nèi)印制程舊涂布線參數(shù) DOE 試驗求證 實驗名稱： 內(nèi)印 DOE 實驗之涂布均勻性 實驗?zāi)康模?利用「 田口方法望目特性 」， 驗證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù) . 實驗時間： 03/12/05－ 03/12/06 實驗料號﹕ Q1024011 測試者 ： 楊正兵 趙剛 A. 原制程參數(shù)操作標準 水準一 水準二 水準三 油墨粘度 (sec) A1 A2 A3 涂布輪轉(zhuǎn)速 B1 B2 B3 B. 規(guī)劃實驗因子表 C. 排列實驗直交表及實驗結(jié)果 實驗編號 重復次數(shù) 粘度 轉(zhuǎn)速 Y1 Y2 Y3 Y4 Y5 Y6 Y7 Y8 Y9 1 1 1 1 4 5 1 2 1 1 4 4 4 1 3 1 1 4 4 1 4 1 1 1 5 1 1 4 5 2 1 1 2 5 5 5 2 2 1 2 4 2 3 1 2 2 4 1 2 7 5 參數(shù) 水準 實驗部分 (Experiment Section)(三 ) SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 28 2 5 1 2 5 4 3 1 1 3 4 5 3 2 1 3 4 3 3 1 3 4 5 3 4 1 3 5 4 3 5 1 3 5 4 1 2 1 4 2 2 1 4 3 2 1 4 4 2 1 5 5 4 4 5 2 1 4 5 1 2 2 4 4 4 5 2 2 2 4 4 5 3 2 2 4 5 4 2 2 5 5 5 5 2 2 4 5 5 6 1 2 3 6 2 2 3 4 5 4 6 3 2 3 5 6 4 2 3 4 4 6 5 2 3 4 5 5 7 7 1 3 1 5 7 2 3 1 4 5 7 3 3 1 4 4 7 4 3 1 5 7 5 3 1 5 5 7 8 1 3 2 5 8 2 3 2 5 8 3 3 2 5 5 7 8 4 3 2 8 5 3 2 7 4 9 1 3 3 5 7 9 2 3 3 5 9 3 3 3 5 5 5 5 9 4 3 3 5 5 9 5 3 3 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 29 D. 查看 S/N、一覽表、圖形及工程推定 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 30 E. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件 油墨粘度 涂布輪轉(zhuǎn)速 原設(shè)計值 A2 B2 新設(shè)計值 (最佳組合 ) A3 B2 參數(shù) 設(shè)計值 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 31 注：此實驗結(jié)果依 DOE 軟件計算出最佳組合條件確認實驗已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示﹕ 項次 1 2 3 4 5 6 7 8 9 極差 均值 1 2 5 3 4 5 6 7 8 9 10 總極差和均值 依上表可知﹐總體極差為 ﹐總體均值為 ﹐結(jié)果理想﹐能滿足實際生產(chǎn)要求。 F．確認依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品 AOI 掃描結(jié)果 實驗料號為 Q1264008 ﹐共 100PNL(200pcs)﹐涂布段按最佳組合參數(shù)﹐其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)﹐經(jīng)掃描后﹐共 3pcs 孔內(nèi)殘銅﹐良率 %。 G．結(jié)論 舊涂布線涂布輪轉(zhuǎn)速﹑粘度最佳條件為﹕ 轉(zhuǎn)速﹕ A3 粘度﹕ B2 報告人﹕楊正兵 12/07/03 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 32 內(nèi)印制程新涂布線參數(shù) DOE 試驗求證 實驗名稱： 內(nèi)印 DOE 實驗之涂布均勻性 實驗?zāi)康模?利用「田口方法望目特性」，驗證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù) . 實驗時間： 03/12/22－ 03/12/24 實驗料號﹕ Q1554001 測試者 ： 楊正兵 趙紅利 A. 原制程參數(shù)操作標準 水準一 水準二 水準三 油墨粘度 (cps) A1 A2 A3 下刮刀壓力 (bar) B1 B2 B3 涂布速度 C1 C2 C3 B. 規(guī)劃實驗因子表 C. 排列實驗直交表及實驗結(jié)果 實驗編號 重復次數(shù) 油墨粘度 下刮刀壓力 涂布速度 Y1 Y2 Y3 Y4 Y5 Y6 Y7 Y8 Y9 1 1 1 1 1 9 1 2 1 1 1 9 9 1 3 1 1 1 11 9 9 9 1 4 1 1 1 9 1 5 1 1 1 9 2 1 1 2 2 9 2 2 1 2 2 9 9 參數(shù) 水準 實驗部分 (Experiment Section)(四 ) SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 33 2 3 1 2 2 6 2 4 1 2 2 9 2 5 1 2 2 9 9 6 3 1 1 3 3 3 2 1 3 3 3 3 1 3 3 3 4 1 3 3 3 5 1 3 3 4 1 2 1 2 8 4 2 2 1 2 4 3 2 1 2 8 9 4 4 2 1 2 8 4 5 2 1 2 8 5 1 2 2 3 8 5 2 2 2 3 5 3 2 2 3 5 4 2 2 3 8 8 5 5 2 2 3 6 1 2 3 1 8 8 6 2 2 3 1 8 8 8 6 3 2 3 1 6 4 2 3 1 8 8 8 8 6 5 2 3 1 8 8 7 1 3 1 3 8 7 2 3 1 3 8 7 3 3 1 3 8 7 4 3 1 3 8 8 7 5 3 1 3 8 1 3 2 1 8 2 3 2 1 8 8 3 3 2 1 8 4 3 2 1 8 5 3 2 1 9 1 3 3 2 9 2 3 3 2 9 3 3 3 2 8 9 4 3 3 2 8 8 9 5 3 3 2 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 34 D. 查看 S/N、一覽表、圖形及工程推定 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 35 E. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件 油墨粘度 CPS 下刮刀壓力 bar 涂布速度 原設(shè)計值 A2 B2 C2 新設(shè)計值 (最佳組合 ) A3 B3 C3 最適組合 A2 B3 C3 注：由參數(shù)之 S/N 比效應(yīng)值大小可以看出﹐下刮刀壓力及涂布速度影響較大﹐此實驗結(jié)果參數(shù) 設(shè)計值 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 36 依 DOE 軟件計算出最佳組合條件確認實驗已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示﹕ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 極差 均值 1 8 8 2 8 3 8 8 4 8 5 8 6 7 8 8 8 9 8 10 總極差和均值 依上表可知﹐總體 極差為 ﹐總體均值為 ﹐結(jié)果理想﹐能滿足實際生產(chǎn)要求。 F．確認依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品 AOI 掃描結(jié)果 實驗料號為 Q1554001 ﹐共 849PNL(1698pcs)﹐涂布段按最佳組合參數(shù)﹐其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)﹐經(jīng)掃描后﹐共 32pcs 孔內(nèi)殘銅﹐良率 %。 G．結(jié)論 新涂布線油墨粘度﹑下刮刀壓力﹑涂布速度最佳條件為﹕ 油墨粘度﹕ A2 下刮刀壓力﹕ B3 涂布速度﹕ C3 以上將作為現(xiàn)有作業(yè)文件修改之依據(jù)。 報告人﹕楊正兵 12/12/25 SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 37 項次 參數(shù)項目 改善前參數(shù) 改善后參數(shù) 1 曝光能量 B1177。 b B2177。 b 2 顯影速度 (新線 ) C1177。 c C2177。 c 3 比重 D1177。 d D2177。 d 4 HCL 含量 E1177。 e E2177。 e 5 蝕刻速度 F1177。 f1 F2177。 f2 6 蝕刻溫度 G1177。 g 不變 7 舊涂布線油墨粘度 A2177。 a1 A3177。 a2 8 舊涂布線涂布輪轉(zhuǎn)速 B2177。 b 不變 9 新涂布線油墨粘度 A2177。 a 不變 10 新涂布線下刮刀壓力 B2177。 b 板厚 nT﹕ B3177。 b 板厚≦ nT﹕ B2177。 b 11 新涂布線涂布速度 C2177。 c1 C3177。 c2 備 注﹕ 1. 物料替換時 (如油墨﹑藥水 )﹐須重新求證上述參數(shù)﹔ 2. 以上參數(shù)已更改相應(yīng)作業(yè)文件﹔ 標準化部分 (Standardization Section) 控制依據(jù) SIX SIGMA 專案報告實例 (二 ) 38 1 2 3 4 5 6 極 差 1 2 3 4 5 61 1