壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(存儲版)
【正文】 線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。dziuban ,Jan Bochenek 報導了一種可以用于測量眼球的眼壓計,其膜片直徑為1mm。集成系統(tǒng)在過程控制和工廠自動化中可提高操作速度和效率。 4 結束語 隨著硅、微機械加工技術、超大集成電路技術和材料制備與特性研究工作的進展,使得壓力傳感器在光纖傳感器的批量生產、高溫硅壓阻及壓電結傳感器的應用成為可能,在生物醫(yī)學、微型機械等領域,壓力傳感器有著廣泛的應用前景。如美國Entran 公司生產的量程為2～500PSI 的傳感器,直徑僅為1. 27mm ,可以放置在人體的血管中而不會對血液的流通產生大的影響。而隨著微機械傳感器的體積越來越小,線度可以達到1～2mm ,可以放置在人體的重要器官中進行數(shù)據(jù)的采集。因此具有廣泛的應用前景。它的工作原理是利用敏感元件受壓力作用時的形變與反射光強度相關的特性,由硅框和金鉻薄膜組成的膜片結構中間夾了一個硅光纖擋板,在有壓力的情況下,光線通過擋板的過程中會發(fā)生強度的改變,通過檢測這個微小的改變量,我們就能測得壓力的大小。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,實現(xiàn)了金屬 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術最成熟、性能最穩(wěn)定、性價比最高的一類傳感器。由于該技術是平面工藝與立體加工相結合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等?！ ?2) 技術發(fā)展階段(1960 1970 年) :隨著硅擴散技術的發(fā)展,技術人員在硅的(
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