壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(存儲版)
【正文】 線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。dziuban ,Jan Bochenek 報導(dǎo)了一種可以用于測量眼球的眼壓計,其膜片直徑為1mm。集成系統(tǒng)在過程控制和工廠自動化中可提高操作速度和效率?！ ? 結(jié)束語 隨著硅、微機(jī)械加工技術(shù)、超大集成電路技術(shù)和材料制備與特性研究工作的進(jìn)展,使得壓力傳感器在光纖傳感器的批量生產(chǎn)、高溫硅壓阻及壓電結(jié)傳感器的應(yīng)用成為可能,在生物醫(yī)學(xué)、微型機(jī)械等領(lǐng)域,壓力傳感器有著廣泛的應(yīng)用前景。如美國Entran 公司生產(chǎn)的量程為2～500PSI 的傳感器,直徑僅為1. 27mm ,可以放置在人體的血管中而不會對血液的流通產(chǎn)生大的影響。而隨著微機(jī)械傳感器的體積越來越小,線度可以達(dá)到1～2mm ,可以放置在人體的重要器官中進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。它的工作原理是利用敏感元件受壓力作用時的形變與反射光強(qiáng)度相關(guān)的特性,由硅框和金鉻薄膜組成的膜片結(jié)構(gòu)中間夾了一個硅光纖擋板,在有壓力的情況下,光線通過擋板的過程中會發(fā)生強(qiáng)度的改變,通過檢測這個微小的改變量,我們就能測得壓力的大小。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,實現(xiàn)了金屬 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術(shù)最成熟、性能最穩(wěn)定、性價比最高的一類傳感器。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計、風(fēng)速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等?！ ?2) 技術(shù)發(fā)展階段(1960 1970 年) :隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,技術(shù)人員在硅的(
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