壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(留存版)
【正文】 材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。同時(shí),在加工與健康保健方面,光纖傳感器也在快速發(fā)展。在內(nèi)眼壓為60mmHg 時(shí),靜態(tài)輸出為40mV ,靈敏度系數(shù)比較高。美國的ANSI、ASTM標(biāo)準(zhǔn)、俄羅斯的ГOCT、日本的J IS 標(biāo)準(zhǔn)。 2. 4 硅微機(jī)械加工傳感器 在微機(jī)械加工技術(shù)逐漸完善的今天,硅微機(jī)械傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用越來越多?！ ?. 1 光纖壓力傳感器[5 ] 這是一類研究成果較多的傳感器,但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計(jì)、風(fēng)速計(jì)、水速計(jì)、壓力表、電子稱以及自動(dòng)報(bào)警裝置等。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了金屬 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。如美國Entran 公司生產(chǎn)的量程為2～500PSI 的傳感器,直徑僅為1. 27mm ,可以放置在人體的血管中而不會(huì)對血液的流通產(chǎn)生大的影響。集成系統(tǒng)在過程控制和工廠自動(dòng)化中可提高操作速度和效率。Rober. S. Okojie報(bào)導(dǎo)了一種運(yùn)行試驗(yàn)達(dá)500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在輸入電壓為5V ,被測壓力為6. 9MPa 的條 件下,23500 ℃時(shí)的滿量程輸出為44. 66～20. 03mV ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進(jìn)一步降低。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高
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