壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-文庫吧在線文庫
【正文】 001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片,稱為硅杯[3 ] 。 2. 1 光纖壓力傳感器[5 ] 這是一類研究成果較多的傳感器,但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多。遇到過載時,膜片貼在基片上不會被破壞,無負(fù)載時會立刻返回原位無任何滯后,過載量可以達(dá)到100 %,即使是破壞也不會泄漏任何污染介質(zhì)?！ ?. 4 硅微機(jī)械加工傳感器 在微機(jī)械加工技術(shù)逐漸完善的今天,硅微機(jī)械傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用越來越多?！ ? 壓力傳感器的發(fā)展趨勢 當(dāng)今世界各國壓力傳感器的研究領(lǐng)域十分廣泛,幾乎滲透到了各行各業(yè),但歸納起來主要有以下幾個趨勢: (1) 小型化目前市場對小型壓力傳感器的需求越來越大,這種小型傳感器可以工作在極端惡劣的環(huán)境下,并且只需要很少的保養(yǎng)和維護(hù),對周圍的環(huán)境影響也很小,可以放置在人體的各個重要器官中收集資料,不影響人的正常生活。美國的ANSI、ASTM標(biāo)準(zhǔn)、俄羅斯的ГOCT、日本的J IS 標(biāo)準(zhǔn)?！ ?3) 智能化由于集成化的出現(xiàn),在集成電路中可添加一些微處理器,使得傳感器具有自動補(bǔ)償、通訊、自診斷、邏輯判斷等功能。在內(nèi)眼壓為60mmHg 時,靜態(tài)輸出為40mV ,靈敏度系數(shù)比較高。在500 ℃條件下運(yùn)行10h ,性能基本不變,在100 ℃和500 ℃兩點(diǎn)的應(yīng)變溫度系數(shù)( TCGF) , 分別為20. 19 %/ ℃和 0. 11 %/ ℃。同時,在加工與健康保健方面,光纖傳感器也在快速發(fā)展。 (4) 微機(jī)械加工階段(1980 年
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