壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)(專業(yè)版)
【正文】 (2) 集成化壓力傳感器已經(jīng)越來越多的與其它測(cè)量用傳感器集成以形成測(cè)量和控制系統(tǒng)?！ ?. 3 耐高溫壓力傳感器 新型半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC) 的出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳感器的制作成為可能?！ ?3) 商業(yè)化集成加工階段(1970 1980 年) :在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)[4 ] ,主要有V 形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法。除此以外,還廣泛應(yīng)用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面?！ ? 壓力傳感器國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 從世界范圍看壓力傳感器的發(fā)展動(dòng)向主要有以下幾個(gè)方向。在室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20. 2muV/ VKPa。如ISO 國際質(zhì)量體系?！ ?. 5 具有自測(cè)試功能的壓力傳感器 為了降低調(diào)試與運(yùn)行成本,Dirk De Bruyker 等人報(bào)導(dǎo)了一種具有自測(cè)試功能的壓阻、電容雙元件傳感器,它的自測(cè)試功能是根據(jù)熱驅(qū)動(dòng)原理進(jìn)行的,該傳感器尺寸為1. 2mm 3mm 0. 5mm ,適用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域[7 ] 。 2. 2 電容式真空壓力傳感器[6 ] E + H公司的電容式壓力傳感器是由一塊基片和厚度為0. 8～2. 8mm的氧化鋁(Al2O3) 構(gòu)成,其間用一個(gè)自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。史密斯(. Smith) 與1945 發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)[2 ] ,即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí),其電阻將明顯發(fā)生變化。此后,半導(dǎo)體
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