決策分析研究(簡(jiǎn)禎富)-wenkub
2023-02-12 02:33:15 本頁(yè)面
【正文】 Status access, exception reporting, Key indicators Nonscheduled analysis, Quality related information, Yield Status, Users Middle management, functional users Analysts, Managers, usually limited Senior executive or managers Product/Process/… engineers and managers Impetus Efficiency Effectiveness Timeliness Efficiency Effectiveness Design Function Oriented Problem Oriented Management Oriented Analysis Oriented Model None Yes/ LP, Bayesian,… None Statistical assumption Development Team User with IT Domain Expert, IT Managers with IT Domain Expert, Statistician, IT Specialist Integrated special software Usually none Yes EIS package or Tool Statistical software, Data Mining algorithm EDA versus MIS/DSS/EIS 決策分析研究室 SPC/Monitor Correlation Test Statistic.(ANOVA/KW/ Decision Tree) Cluster/PCA SOM/Feature Extraction (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) 晶圓製造流程 vs Data Flow Analysis Flow （彭誠(chéng)湧、簡(jiǎn)禎富， 2023） 決策分析研究室 SPC/ Monitor Equipment Matching Cluster/PCA SOM/Feature Extraction Process Tools WAT parameters (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) by Bin , Bin Value , Die Position Process (Major) Lot History by Route + Operation Tool + Process Date Time + Recipe + Operator Metrology Data (Lot/Wf/Site) Defect Count + Defect Type Comment Tool History by Tool Id + Date Time PM monitor data Tool Status WAT By Lot/Wf/Site Parameter Name Test Value Spec Limit Valid Limit SORT By Lot/Wf/Die Bin Name Bin Value Die Position Correlation( by Lot/Wf/Site) Metro. . WAT Metro. . SORT WAT . SORT … Test Statistic. TTest ANOVA KruskallWallis Decision Tree Data Flow Analysis Flow （彭誠(chéng)湧、簡(jiǎn)禎富， 2023） 決策分析研究室 此期間某參數(shù)異常 ，欲找出原因 分析 WAT參數(shù)對(duì)該參數(shù)的影響 找出異常量測(cè)參數(shù) 找出與異常參數(shù)相關(guān)的製程 例：某一期間生產(chǎn)之 lots Bin map周圍 failure較多 從相關(guān)製程中找出問題機(jī)臺(tái) FMEA 半導(dǎo)體製程資料挖礦研究架構(gòu) （簡(jiǎn)禎富、蔡承勳， 2023） 晶圓圖分析 決策分析研究室 研究問題 ： 晶圓圖分類 （簡(jiǎn)禎富、林鼎浩、劉巧雯、彭誠(chéng)湧、徐紹鐘、黃佳琪， 2023） ? 背景與動(dòng)機(jī) ? 晶圓 CP測(cè)試階段產(chǎn)生晶圓圖（ Wafer Bin Map） ? 晶圓圖出現(xiàn)特殊的樣型（ Pattern） ? 目前半導(dǎo)體廠對(duì)於晶圓圖檢測(cè)的方法 ? 目的 ? 發(fā)展晶圓圖分類的方法和運(yùn)算法則 ? 紀(jì)錄其共同故障表徵（ Common Fail Pattern）， 以建立系統(tǒng)化分類的晶圓圖庫(kù) ? 縮短工程師故障排除（ Trouble Shooting） 的範(fàn)圍與決策分析所需的時(shí)間 決策分析研究室 目前的分析方法 必須 有經(jīng)驗(yàn)的 工程師用目測(cè)及主觀判斷來進(jìn)行分類 甲群 乙群 還有一大堆 人工分群 目測(cè)法 A群 C群 甲工程師 乙工程師 B 群 決策分析研究室 結(jié)合空間統(tǒng)計(jì)方法、類神經(jīng)路網(wǎng)路，進(jìn)行晶圓圖分群、比對(duì)、再分類（ Chien and Liu, 2023）。 ? 交叉銷售：以不同的產(chǎn)品及服務(wù)對(duì)不同的顧客從事交叉銷售 (cross selling)， 以提高產(chǎn)品與服務(wù)使用度 。 （ 2） 預(yù)測(cè)（ Prediction）： ? 根據(jù)對(duì)象屬性之過去觀察值來推估該屬性未來之值。 ? 產(chǎn)生方案：根據(jù)所得到的資訊擬定適當(dāng)?shù)男袆?dòng)方案 ， 協(xié)助決策 。 ? 利用資料，考慮成本、風(fēng)險(xiǎn)、以及決策實(shí)行的限制。 決策分析研究室 資料挖礦與資料庫(kù)知識(shí)發(fā)現(xiàn) ? 「資料庫(kù)知識(shí)發(fā)現(xiàn)」（ KDD） 是從資料中建立確定有效的、新奇的、潛在有用的、以及易懂形式的樣型之過程，且此過程不是顯而易見。
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