測試技術(shù)與方法rev(已修改)
2025-05-27 05:14 本頁面
【正文】 微束分析技術(shù) ? 微束分析技術(shù)： ? 利用直徑在微米級的微束 (電子束、離子束粒子束和激光束等 )來激發(fā)樣品，然后借助相應(yīng)的探測系統(tǒng)和信息處理系統(tǒng)收集和處理被激發(fā)微區(qū)所產(chǎn)生的各種信息，如特征 x射線、二次電子、二次離子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子以及陰極熒光等，用以研究微區(qū)的化學(xué)成分、表面形貌和結(jié)構(gòu)特征等。這就是人們通常所說的微區(qū)分析技術(shù)或微束分析技術(shù)。 電子探針分析的基本原理 由電子槍發(fā)射出來的電子束，通常以 10一 30kv的加速電壓賦以很高的能量，然后通過電磁透鏡將共聚焦成直徑小于 1mm的微束，以此作為激發(fā)源轟擊樣品待分析微區(qū)，在樣品表面幾個立方微米的范圍內(nèi)產(chǎn)生特征 x射線。連續(xù) X射線、二次電子、背散射電子、俄歇電子、陰極熒光等。根據(jù)莫塞萊定律，通過測定特征
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