測(cè)試技術(shù)與方法rev(已修改)
2025-05-27 05:14 本頁(yè)面
【正文】 微束分析技術(shù) ? 微束分析技術(shù)： ? 利用直徑在微米級(jí)的微束 (電子束、離子束粒子束和激光束等 )來(lái)激發(fā)樣品，然后借助相應(yīng)的探測(cè)系統(tǒng)和信息處理系統(tǒng)收集和處理被激發(fā)微區(qū)所產(chǎn)生的各種信息，如特征 x射線(xiàn)、二次電子、二次離子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子以及陰極熒光等，用以研究微區(qū)的化學(xué)成分、表面形貌和結(jié)構(gòu)特征等。這就是人們通常所說(shuō)的微區(qū)分析技術(shù)或微束分析技術(shù)。 電子探針?lè)治龅幕驹? 由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，通常以 10一 30kv的加速電壓賦以很高的能量，然后通過(guò)電磁透鏡將共聚焦成直徑小于 1mm的微束，以此作為激發(fā)源轟擊樣品待分析微區(qū)，在樣品表面幾個(gè)立方微米的范圍內(nèi)產(chǎn)生特征 x射線(xiàn)。連續(xù) X射線(xiàn)、二次電子、背散射電子、俄歇電子、陰極熒光等。根據(jù)莫塞萊定律，通過(guò)測(cè)定特征
環(huán)評(píng)公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1