集成電路制造工藝-閱讀頁(yè)
2025-01-16 18:43本頁(yè)面
【正文】 離性，在同一硅片上制作的 MOS晶體管無(wú)需采用任何隔離措施就自然地相互隔離開(kāi)． ?但當(dāng)相鄰 MOS管之間的場(chǎng)氧化層上有導(dǎo)線經(jīng)過(guò)時(shí)，該導(dǎo)線將成為寄生 MOS管的柵極，若導(dǎo)線上的電壓增大到一定的程度就可能導(dǎo)致寄生 M0S管開(kāi)啟，使相鄰晶體管之間的隔離被破壞． ?因此， MOS集成電路隔離的實(shí)質(zhì)就是如何防止場(chǎng)寄生晶體管開(kāi)啟． ?防止場(chǎng)寄生晶體管開(kāi)啟的途徑主要有兩種；增大場(chǎng)氧化層厚度和提高場(chǎng)氧下面硅層的表面摻雜濃度． ?（ 1）標(biāo)準(zhǔn)場(chǎng)氧化隔離：為了防止場(chǎng)區(qū)寄生晶體管的開(kāi)啟，場(chǎng)氧化層必須足夠厚，而厚的場(chǎng)氧化層勢(shì)必會(huì)造成較高而且陡直的氧化韌臺(tái)階，這對(duì)金屬布線時(shí)的臺(tái)階覆蓋非常不利，甚至?xí)斐蓴噤X等現(xiàn)象． ?（ 2）局域氧化隔離 (Local Oxidation Isolation，縮寫為 LOCOS)： ?首先在硅片上熱生長(zhǎng)一層薄氧化層，并 CVD淀積一層氯化硅，之后進(jìn)行光刻，以光刻膠作為掩蔽層刻蝕場(chǎng)區(qū)的氮化硅、氧化硅層。 , January 24, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 :39:5102:39Jan2324Jan23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 :39:5102:39:51January 24, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見(jiàn)青山。 。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 39分 51秒 02:39:5124 January 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 , January 24, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 :39:5102:39Jan2324Jan23 ? 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 :39:5102:39:51January 24, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 39分 51秒 02:39:5124 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 , January 24, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過(guò)去最杰出的人談話。 :39:5102:39Jan2324Jan23 ? 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 24日星期二 上午 2時(shí) 39分 51秒 02:39: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 39分 51秒 02:39:5124 January 2023 ? 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)
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