半導(dǎo)體產(chǎn)品制造合格率模型-在線瀏覽
2025-03-30 08:36本頁面
【正文】 率 Yft。 ? 引起電路失效的缺陷稱為故障（ fault）或致命缺陷（ fatal defect）。影響合格率的另一個參數(shù)是缺陷集聚（clustering）。通常認(rèn)為：缺陷密度函數(shù)在某個固定的缺陷尺寸（稱為臨界尺寸）上形成峰值，在峰值兩邊遞減。 ? 所以 ，通常假設(shè)缺陷尺寸概率分布函數(shù)（ pdf）為 ： ? 小于 臨界尺寸的區(qū)域：冪函數(shù)關(guān)系 ； ? 大于 臨界尺寸的區(qū)域：反冪函數(shù)關(guān)系。 Stapper取 q=1， p=3， 獲得 的空間分布 與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)相接近。 2023年 8月 缺陷尺寸分布曲線 2023年 8月 臨界 面積和 平均故障數(shù) 缺陷發(fā)生在某些區(qū)域，就可能會成為故障。平均臨界面積由下式可得 ： ? ?? 0 )()( dxxsxAA cc記所有尺寸的缺陷的平均密度 為 D0， 尺寸 為 X的 缺陷的平均密度 為 D(X)， 則有： )()( 0 xsDxD ?由缺陷產(chǎn)生的平均故障數(shù) μ： 0DA c??2023年 8月 合格率 模型 1泊松模型 該模型假設(shè)故障的分布是隨機(jī)的，而且一個故障的產(chǎn)生與其他故障的產(chǎn)生無關(guān)。 2023年 8月 合格率模型 2負(fù)二項(xiàng)式模型 負(fù)二項(xiàng)式模型假設(shè)一
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1