半導體產(chǎn)品制造合格率模型-資料下載頁
2025-02-26 08:36本頁面
【正文】 ，可以很直觀地看出右側(cè)的合格率較左側(cè)為高。 2023年 8月 合格率模型 3其他模型 如果假設缺陷密度服從正態(tài)分布，并用三角分布（即 Simpson分布）近似，則可以得到 Murphy模型， 此模型在一定容限內(nèi)與實際合格率能較好吻合 。 2001???????? ?? ?DAeYcDA c如果假設缺陷密度服從指數(shù)分布，則可以得到 Seed模型， 此模型預測的合格率比實際合格率高 ： 011DAY c??如果假設缺陷密度在區(qū)間 [0， 2 ]內(nèi)服從均勻分布，則可以得到以下模型 ，此模型預測的 合格率也比 實際合格率高 ： 0221 0DAeYcDA c???2023年 8月 合格率模型 3其他模型（續(xù)） 基于 Erlang分布，可以得到 Okabe模型。 ? ?xc xDAY /1 1 0??其中 為光刻版的層數(shù)。這一模型在結(jié)構(gòu)上與負二項式模型相似，但結(jié)果不同。此模型與實際數(shù)據(jù)吻合較差 。 下圖是各種模型的比較圖，如前所述， Seed模型預測的合格率最高，泊松模型最低 2023年 8月 謝謝！ 2023年 8月 ?演講完畢，謝謝觀看！
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