關(guān)于電子探針x射線顯微分析-在線瀏覽
2025-02-02 02:34本頁面
【正文】 的 x射線，在特定位置檢測(cè)。n 連續(xù)改變 ?，在與 X射線入射方向呈 2 ?的位置 上測(cè)到不同波長(zhǎng)的特征 X射線信號(hào)。分光晶體n 專門用來對(duì) x射線起色散（分光）作用的晶體，具有良好的衍射性能、強(qiáng)的反射能力和好的分辨率。n 為了提高接收 X射線強(qiáng)度，分光晶體通常使用彎曲晶體。n 因 A、 B、 C三點(diǎn)的衍射線并不恰在一點(diǎn)，是一種近似的聚焦方式。n 分辨率 高 ： 10eV 譜儀分辨率是指分開、識(shí)別相鄰兩個(gè)譜峰的能力。n 峰背比大 背底扣除容易，數(shù)據(jù)處理簡(jiǎn)單。（ 2）能量色散譜儀 EDS Energy Dispersive Spectrometern 利用 固態(tài)檢測(cè)器 （鋰漂移硅）測(cè)量每個(gè) x射線光子的能量，并按 E大小展譜。工作原理n 鋰漂移硅半導(dǎo)體探測(cè)器，習(xí)慣記 Si(Li)探測(cè)器。能量為 E的 X射線光子所激發(fā)的電子 –空穴對(duì)數(shù) N為 N＝ E／ ? 入射 X射線光子 E不同，激發(fā)的 N不同，探測(cè)器輸出電壓脈沖高度由 N決定。n 對(duì)樣品污染作用小n 適于粗糙表面成分分析 不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏 2－ 3mmn 工作條件： 探測(cè)器須在液氮溫度下使用，維護(hù)費(fèi)用高。n EDS在分析元素范圍、分辨率方面略遜，分析速度快、對(duì)樣品表面要求不高、可用較小的束流和細(xì)微電子束，適于與 SEM配合使用。n 波譜定性分析不如能譜定性分析那么簡(jiǎn)單、直觀，就要求對(duì)波譜進(jìn)行更合乎邏輯的分析，以免造成錯(cuò)誤。n SK?和 CoK?具有不同的能量，使探測(cè)器輸出不同電壓脈沖幅度。比較項(xiàng)目 WDS EDS元素分析范圍元素分析方法能量辨率 /eV靈敏度檢測(cè)效率定量分析精度儀器特殊性4Be～ 92U分光晶體逐個(gè)元素分析高（ 3／ 5～ 10）低低，隨波長(zhǎng)而變化好多個(gè)分光晶體11Na～ 92U／ 4Be～ 92U固態(tài)檢測(cè)器元素同時(shí)檢測(cè)
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