先進制造技術(shù)——微機電系統(tǒng)-在線瀏覽
2025-06-19 06:24本頁面
【正文】 cation of Silicon Tips for Scanning Probe Microscopy 硅微尖錐 硅微齒輪 ?弧形梳齒 靜電 硅微轉(zhuǎn)子 硅微槽 硅微梁 硅微梁 硅微轉(zhuǎn)動器 硅微拖動器 硅微橋 硅微橋 硅微琴 已經(jīng)制造出尖端直徑為 5?m的可以夾起一個紅細胞的微型鑷子 可以用于醫(yī)療手術(shù) 硅微型鑷子 四、 MEMS制造工藝 硅 MEMS工藝 （ 1）化學腐蝕 High aspect ratio 60um trench STS Deep RIE system at FID （ 2）反應離子刻蝕 （ 3） LIGA工藝 Lithograpie(光刻 )、 Galvanoformung(電鑄 )、 Abformung(塑鑄 ) 德國為代表 主要用于金屬微結(jié)構(gòu)器件的形成 LIGA工藝 模具 五、 MEMS的分類 ?微執(zhí)行器：微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微開關(guān)、微噴射器、微揚聲器、微諧振器等 ?微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等 ?微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光
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