離子注入培訓(xùn)資料ppt課件-在線瀏覽

【摘要】離子注入各參數(shù)對(duì)注入結(jié)果的影響?半導(dǎo)體離子注入是半導(dǎo)體芯片IC生產(chǎn)過(guò)程中的重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，它的各個(gè)參數(shù)的調(diào)整直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和成品率的高低。那么究竟哪些因素是我們平時(shí)工作中應(yīng)當(dāng)考慮的呢？?束流強(qiáng)度的穩(wěn)定性和束能的穩(wěn)定性決定了束流品質(zhì)的好壞，一個(gè)穩(wěn)定的離子束通過(guò)平穩(wěn)聚焦與掃描在注入時(shí)間域里恒定注入襯底，讓襯底單位面積獲取趨于一致的劑量積分，從而實(shí)現(xiàn)

2025-02-28 18:03

摻雜技術(shù)離子注入ppt課件-在線瀏覽

【摘要】第七章離子注入（IonImplantation）離子注入概述?最早應(yīng)用于原子物理和核物理研究?提出于1950’s?1970’s中期引入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域離子注入離子注入是另一種對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的方法。將雜質(zhì)電離成離子并聚焦成離子束，在電場(chǎng)中加速而獲得極高的動(dòng)能后，注入到硅中（稱為“靶”）而實(shí)現(xiàn)摻

2025-03-03 19:21

離子注入技術(shù)implant-在線瀏覽

【摘要】離子注入技術(shù)摘要 離子注入技術(shù)是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的最主要方法。本文從對(duì)該技術(shù)的基本原理、基本儀器結(jié)構(gòu)以及一些具體工藝等角度做了較為詳細(xì)的介紹，同時(shí)介紹了該技術(shù)的一些新的應(yīng)用領(lǐng)域。關(guān)鍵字 離子注入技術(shù) 半導(dǎo)體摻雜1緒論離子注入技術(shù)提出于上世紀(jì)五十年代，剛提出時(shí)是應(yīng)用在原子物理和核物理究領(lǐng)域。后來(lái)，隨著工藝的成熟，在1970年左右，這種技術(shù)被引進(jìn)半導(dǎo)體

2024-08-24 01:37

集成電路工藝之離子注入-在線瀏覽

【摘要】電子科技大學(xué)中山學(xué)院Chap4離子注入?核碰撞和電子碰撞?注入離子在無(wú)定形靶中的分布?注入損傷?熱退火電子科技大學(xué)中山學(xué)院離子注入?離子注入是一種將帶電的且具有能量的粒子注入襯底硅的過(guò)程，注入能量介于1KeV到1MeV之間，注入深度平均可達(dá)10nm～10um。離子劑量變動(dòng)范圍，從用于閾值電壓調(diào)

2025-06-19 18:30

工業(yè)微生物育種誘變劑(2)-在線瀏覽

【摘要】第五章工業(yè)微生物育種誘變劑本章內(nèi)容：化學(xué)誘變劑物理誘變劑生物誘變劑2?誘發(fā)突變(inducedmutation)的發(fā)現(xiàn)?1927年，Muller用X射線誘發(fā)果蠅遺傳性狀變異。?在第二次世界大戰(zhàn)中，又發(fā)現(xiàn)化學(xué)物質(zhì)氮芥也能導(dǎo)致細(xì)菌性狀變異，其效應(yīng)與X射線相類似。?陸續(xù)發(fā)現(xiàn)許多物理因子與化學(xué)物質(zhì)

2025-03-02 22:20

植物天然產(chǎn)物在微生物體內(nèi)合成的代謝工程-在線瀏覽

【摘要】植物天然產(chǎn)物在微生物體內(nèi)合成的代謝工程謝宏林10808072摘要?植物天然產(chǎn)物（NP）有重要的藥理活性。從植物中分離天然產(chǎn)物（NP）常常受限于低含量，環(huán)境，季節(jié)和區(qū)域差異，而全化學(xué)合成這類具有復(fù)

2024-08-29 20:26

[精選]第4章ic工藝之離子注入-在線瀏覽

【摘要】第四章：離子注入技術(shù)問(wèn)題的提出：–短溝道的形成？–GaAs等化合物半導(dǎo)體？（低溫?fù)诫s）–低表面濃度？–淺結(jié)？–縱向均勻分布或可控分布？–大面積均勻摻雜？–高純或多離子摻雜？要求掌握：–基本工藝流程（原理和工藝控制參數(shù)）–選擇性摻雜的掩蔽膜（Mask）–質(zhì)量控制和檢測(cè)

2025-03-22 08:10

微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)-在線瀏覽

【摘要】微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)第六章微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)食品中微生物的來(lái)源與控制食品腐敗與變質(zhì)不同食品的腐敗變質(zhì)食品中腐敗微生物的防治和食品保藏微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)污染食品的微生物來(lái)源與途徑一方面微生物在自然界中分布十

2024-08-29 02:00

微生物引起的食物中毒-在線瀏覽

【摘要】第六章微生物引起的食物中毒第一節(jié)食物中毒概述一食物中毒二食物中毒的特點(diǎn)三常見食物中毒類型第二節(jié)細(xì)菌性食物中毒一沙門氏菌食物中毒二金黃色葡萄球菌食物中毒

2025-02-02 04:38

微生物引起的物質(zhì)轉(zhuǎn)化試題-在線瀏覽

【摘要】第九章微生物引起的物質(zhì)轉(zhuǎn)化試題一、選擇題91439.檸檬酸發(fā)酵是：A.好氣發(fā)酵。B.厭氣發(fā)酵。C.兼厭氣發(fā)酵。答:()。91440.酒精發(fā)酵是：A.好氣發(fā)酵。B.厭氣發(fā)酵。C.

2025-02-26 08:36

[理學(xué)]20xx第八章離子注入-在線瀏覽

【摘要】第七章離子注入?離子注入基本概念?離子注入的特點(diǎn)?離子注入系統(tǒng)組成?注入損傷和退火?離子注入的應(yīng)用§離子注入離子注入：將具有很高能量的雜質(zhì)離子射入半導(dǎo)體襯底中的摻雜技術(shù)。物理過(guò)程，不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。離子注入機(jī)示意圖離子源

2025-05-09 06:44

多細(xì)胞生物體和單細(xì)胞生物體-在線瀏覽

【摘要】植物體的結(jié)構(gòu)層次表皮保護(hù)組織細(xì)胞排列緊密，具有保護(hù)作用。葉肉營(yíng)養(yǎng)組織細(xì)胞壁薄，具有貯存營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)的作用。葉脈細(xì)胞呈管狀，具有運(yùn)輸功能。輸導(dǎo)組織葉芽生長(zhǎng)點(diǎn)分生組織細(xì)胞具有分裂能力。器官：不同的組織按照一定的順序聯(lián)合起來(lái)，形成具有一定功能的結(jié)構(gòu)。果皮果肉果

2025-03-02 18:49

微生物學(xué)引起人類疾病的病毒-在線瀏覽

【摘要】引起人類疾病的病毒流行性感冒病毒肝炎病毒人類免疫缺陷病毒12435678PB2PB1RNPRNAM2M1NAHA分節(jié)段的（-）SSRNAPARNA多聚酶核糖核蛋白（RNP）流行性感冒病毒（influenzavirus）

2024-09-25 21:43

微生物感染引起的細(xì)胞形態(tài)學(xué)改變-在線瀏覽

【摘要】微生物感染引起的細(xì)胞形態(tài)學(xué)改變北京康博眾醫(yī)療科技有限公司眾所周知，查找感染機(jī)體的病原微生物，向來(lái)是屬于醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)范疇。泌尿生殖道的炎癥是臨床最為常見的感染，醫(yī)生們通常要采集病變部位的標(biāo)本，送交檢驗(yàn)科迚行鏡檢﹑培養(yǎng)﹑單兊隆﹑DNA﹑核酸等檢查，為臨床診斷尋求實(shí)驗(yàn)室佐證。但是，這樣便會(huì)帶來(lái)二個(gè)問(wèn)題：第一、醫(yī)生必須

2025-03-02 23:44

離子注入工藝及設(shè)備研究畢業(yè)論文-在線瀏覽

【摘要】離子注入工藝及設(shè)備研究畢業(yè)設(shè)計(jì)論文離子注入工藝及設(shè)備研究系電子信息工程系專業(yè)微電子技術(shù)姓名班級(jí)微電103學(xué)號(hào)1001113110指導(dǎo)教師職稱講師指導(dǎo)教師

2024-09-19 13:22

離子注入微生物體引起誘變(存儲(chǔ)版)

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