【正文】 LSL USL m 6? 6? m World Class Quality CONFIDENTIAL 23 Unimicron 製程準(zhǔn)確度 Ca ? Ca值在衡量製程之實(shí)績(jī)平均值相對(duì)於規(guī)格中心值之偏移程度，為製程中心值偏移規(guī)格中心值時(shí)製程能力之矯正值(noncentering correction)。 等級(jí) Ca值A(chǔ) ∣ Ca∣≦ %B 12 .5 % ∣ Ca∣≦ 2 5%C 25% ∣ Ca∣≦ 5 0 %D 50 % ∣ Ca∣ ( ※ 若令 k = 1 ∣ C a ∣ ，則 k 值越大越佳 。 Cpk指標(biāo) 的計(jì)算 Cpk = (1 |Ca|) x Cp (當(dāng) Ca = 0 或無(wú)法計(jì)算時(shí)， Cpk = Cp) 另一種直接的計(jì)算方法是： Cpl = (?LSL)/3? ^ ^ Cpu = (USL?)/3? ^ ^ Cpk = min { Cpl , Cpu } World Class Quality CONFIDENTIAL 27 Unimicron 製程能力綜合指標(biāo) Cpk 等級(jí) C p k 值 A+ 7 ≦ C p k A 3 ≦ C p k B 0 ≦ C p k C 7 ≦ C p k 0 D C p k ? Cpk的等級(jí)判定： Cpk值越大，表示製程精密度越好。其公式和製程能力指標(biāo)的計(jì)算方法一樣，唯一的差別在於標(biāo)準(zhǔn)差的估計(jì)方式 。在此階段，由於產(chǎn)品生產(chǎn)數(shù)量不多，不適用以樣本分組的方式估計(jì)製程標(biāo)準(zhǔn)差。 ? 當(dāng)不同的樣本平均值差異過(guò)大時(shí)，表示製程在不穩(wěn)定的狀態(tài)。 在這種情況下， Ppk指標(biāo)比較能反映出製程實(shí)際的表現(xiàn)。假設(shè)其製程規(guī)格為 ? 製程平均值 ? = 製程標(biāo)準(zhǔn)差 ? = R/d2 = _ ^ ^ Cp = (USLLSL) / 6? ^ = / (6*) = Ca = (? m)/[(USLLSL)/2] = () /() = ^ Cpk = (1 |Ca|) x Cp = ()* = Ppk = ? World Class Quality CONFIDENTIAL 31 Unimicron 統(tǒng)計(jì)製程管制基本概念 (Basic SPC Concept) World Class Quality CONFIDENTIAL 32 Unimicron 何謂統(tǒng)計(jì)製程管制 統(tǒng)計(jì)製程管制 (Statistical Process Control, 簡(jiǎn)稱(chēng) SPC)，是利用抽樣所得之樣本資料 (樣本統(tǒng)計(jì)量 )來(lái)監(jiān)視製程之狀態(tài)，統(tǒng)計(jì)製程管制為 預(yù)防性 之品質(zhì)管制手段，其主要目的在儘快偵測(cè)出 可歸屬原因之發(fā)生 或 製程之跳動(dòng) (偏移 )，以便在製造出更多不合格品之前，就能發(fā)現(xiàn)製程之變異並進(jìn)行改善工作： 第一時(shí)間就做對(duì) (Do it right the first time) World Class Quality CONFIDENTIAL 33 Unimicron 為什麼要採(cǎi)用統(tǒng)計(jì)製程管制 在任何的生產(chǎn)程序中，不管如何設(shè)計(jì)或維護(hù)，產(chǎn)品的一些固有的或自然之變異將永遠(yuǎn)存在。這些自然變異通常稱(chēng)為機(jī)遇原因 (random causes)或是一般原因(mon causes)，當(dāng)製程在只有機(jī)遇原因出現(xiàn)下操作，則稱(chēng)其在管制中 (in control)。這些變異稱(chēng)為可歸屬原因(assignable causes)或非機(jī)遇原因或特殊原因 (special causes)，製程若在可歸屬變異下操作則稱(chēng)其為製程失控 (out of control)。 World Class Quality CONFIDENTIAL 35 Unimicron 何謂統(tǒng)計(jì)製程管制 我們?yōu)楹我獙W(xué)統(tǒng)計(jì)製程管制？ 品質(zhì)並不是某一個(gè)人或是某一部門(mén)的責(zé)任，如果要生產(chǎn)的產(chǎn)品能達(dá)到顧客所要求的「品質(zhì)」，公司裡每一個(gè)人包括生產(chǎn)線上的作業(yè)員、打字員、採(cǎi)購(gòu)員、工程師以及公司的總經(jīng)理等對(duì)產(chǎn)品的品質(zhì)都有責(zé)任。 World Class Quality CONFIDENTIAL 36 Unimicron 管制圖簡(jiǎn)介 1924年休哈特 ()提出了管制圖 (Control Chart)的概念與方法。如發(fā)現(xiàn)有超出管制界限外之點(diǎn)或是出現(xiàn)特殊圖樣 (異常現(xiàn)象 )時(shí)，應(yīng)立即由人員、機(jī)械設(shè)備、材料、方法(4M)或環(huán)境 (1E)等方向進(jìn)行層別以追查原因，進(jìn)而改善製程。典型之管制圖包含一中心線 (Center Line, CL)，用以代表製程處?kù)督y(tǒng)計(jì)管制內(nèi)時(shí)品質(zhì)特性之平均值。管制圖可用來(lái)判斷品質(zhì)變異之顯著性，以測(cè)知製程是否在正常狀態(tài)。管制圖同時(shí)可展示時(shí)間順序的資料。 2) 管制用管制圖 – 偵測(cè) 可歸屬原因 是否發(fā)生同時(shí) 追查 並迅速消除 此原因。而當(dāng)樣本大小超過(guò) 10時(shí)，則建議使用平均值與標(biāo)準(zhǔn)差管制圖。 World Class Quality CONFIDENTIAL 44 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 b. 蒐集數(shù)據(jù) – 蒐集最近之?dāng)?shù)據(jù) 120個(gè)以上，分析其製程表現(xiàn) (是否合乎規(guī)格 )，若製程表現(xiàn)指標(biāo) (Ppk)太差，應(yīng)重新調(diào)整製程條件以改善現(xiàn)況。 d. 蒐集並分析樣本組數(shù)據(jù) – 將分組的數(shù)據(jù)輸入系統(tǒng)，累積20~30組數(shù)據(jù)。 World Class Quality CONFIDENTIAL 45 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 e. 計(jì)算每組平均值 (X)及全距 (R) f. 計(jì)算總平均值 (X)及平均全距 (R)。 j. 管制界限之探討 如所有之點(diǎn)全部在管制界限內(nèi)且係隨機(jī)散佈著，將可以用作建立製程管制用管制圖。 World Class Quality CONFIDENTIAL 47 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 如有點(diǎn)超出管制界限 ,則應(yīng)調(diào)查原因，並加以消除。 雖有點(diǎn)超出管制界限，但原因不明，或已查明原因，而無(wú)法消除時(shí)，這些點(diǎn)將無(wú)頇除去。 World Class Quality CONFIDENTIAL 48 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 k. 繪製直方圖 – 將所有數(shù)據(jù)作成次數(shù)分配，如不呈常態(tài)分配，則宜應(yīng)用層別，合理分組等方法，檢討原數(shù)據(jù)，直到數(shù)據(jù)呈常態(tài)分配。在這種情況下，原有的管制界限則可以延長(zhǎng)使用。 World Class Quality CONFIDENTIAL 49 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 如製程分佈範(fàn)圍比規(guī)格界限之寬度為寬時(shí)，表示製程能力不足。如果目前情況下，由於技術(shù)或經(jīng)濟(jì)之限制無(wú)法改善製程能力，則應(yīng)檢討規(guī)格界限是否可以放寬，以獲得較經(jīng)濟(jì)之生產(chǎn)，如無(wú)法改善製程能力又無(wú)法改變規(guī)格時(shí)，則應(yīng)行全數(shù)檢查 (選剔 )。 World Class Quality CONFIDENTIAL 50 Unimicron 計(jì)量值管制圖作業(yè)步驟 2) 建立管制用管制圖 經(jīng)解析用管制圖對(duì)製程解析後，確定製程能力能滿足規(guī)格需求，且將來(lái)係按此種同樣條件繼續(xù)生產(chǎn)時(shí)，可以固定管制界限開(kāi)始管制製程。 b. 持續(xù)蒐集數(shù)據(jù)並點(diǎn)圖 c. 管制界限之重新計(jì)算 – 管制工作持續(xù)一段時(shí)間以後，製程可能發(fā)生變化，此時(shí)再用原來(lái)之管制界限來(lái)判斷製程就不適合，應(yīng)該再蒐集資料，重新計(jì)算管制界限，以符合製程之現(xiàn)況。 2) 大部份的點(diǎn) (約 70%)集中在中心線，但不能所有的點(diǎn)都靠近中心線。 4) 任何連續(xù)多點(diǎn)不可形成向上或向下的「趨勢(shì)」 (Trend)。 2) 在管制界限內(nèi)的點(diǎn)出現(xiàn)特殊圖樣 (Pattern)。也就是說(shuō)，目前製程的中心可能產(chǎn)生偏移 (平均值位移 )；或是製程的界限已經(jīng)擴(kuò)大了 (標(biāo)準(zhǔn)差變大 )。當(dāng)然也有可能是突然出現(xiàn)的可歸屬原因 (例如 : 設(shè)備故障、作業(yè)員操作錯(cuò)誤 …. 等 )所造成的。以面銅厚度的例子而言，即是 Paneltopanel均勻性不好。以面銅厚度的例子而言，即是 Lottolot均勻性不好。請(qǐng)對(duì)此管制圖進(jìn)行判讀，也就是說(shuō)，判斷出這個(gè)管制圖是否有出現(xiàn)製程失控？ A區(qū) B區(qū) C區(qū) C區(qū) B區(qū) A區(qū) World Class Quality CONFIDENTIAL 62 Unimicron 異常處理流程 OutofControl Action Plan ? OCAP指的是當(dāng)管制圖顯示製程失控時(shí)，第一時(shí)間所應(yīng)採(cǎi)取的行動(dòng)措施。 ? OCAP應(yīng)該由現(xiàn)場(chǎng)的第一線作業(yè)人員執(zhí)行，以確保其時(shí)效性。 ? 中心線與管制界限的計(jì)算： 平均值管制圖的中心線與上下管制界限： _ _ UCL = X + A3S LCL = X – A3S _ _ CL = X _ World Class Quality CONFIDENTIAL 64 Unimicron 平均值與標(biāo)準(zhǔn)差管制圖的使用 標(biāo)準(zhǔn)差管制圖的中心線與上下管制界限： _ UCL = B4S LCL = B3S _ CL = S _ World Class Quality CONFIDENTIAL 65 Unimicron 個(gè)別值與移動(dòng)全距管制圖的使用 個(gè)別值與移動(dòng)全距管制圖 ? 適用情況： ，且每一件產(chǎn)品皆檢測(cè) ，一次只能蒐集到一個(gè)數(shù)據(jù) ，如藥液濃度 ，其過(guò)程相當(dāng)費(fèi)時(shí)或繁瑣 ，測(cè)詴成本相當(dāng)高 World C